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1. (WO2018024484) PRESSURE SENSOR MODULE
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Pub. No.:    WO/2018/024484    International Application No.:    PCT/EP2017/068243
Publication Date: 08.02.2018 International Filing Date: 19.07.2017
IPC:
G01L 9/00 (2006.01), B81C 1/00 (2006.01)
Applicants: AMS AG [AT/AT]; Schloss Premstätten Tobelbader Str. 30 8141 Premstätten (AT)
Inventors: DAAMEN, Roel; (NL).
VIJAYAKUMAR, Kailash; (SG).
BOUMAN, Hendrik; (NL).
PIJNENBURG, Remco Henricus Wilhelmus; (NL).
VAN LIPPEN, Twan; (NL)
Agent: EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHAFT MBH; Schloßschmidstr. 5 80639 München (DE)
Priority Data:
16182611.0 03.08.2016 EP
Title (EN) PRESSURE SENSOR MODULE
(FR) MODULE DE CAPTEUR DE PRESSION
Abstract: front page image
(EN)A pressure sensor module (10) comprises a base electrode (14) surrounding at least a part of a bottom electrode (15), and an anchor arrangement (20) on top of the base electrode (14) comprising at least two electrically conductive walls (19) that both surround at least a part of the bottom electrode (15). The pressure sensor module (10) further comprises an electrically conductive layer (18) that covers at least the bottom electrode (15) and the anchor arrangement (20) such that a cavity (17) is formed between the bottom electrode (15), the anchor arrangement (20) and the electrically conductive layer (18). The proportionate area of the electrically conductive walls (19) in a cross section extending from the surface (32) of the inner wall of the anchor arrangement (20) facing the cavity (17) to the surface (33) of the outermost wall of the anchor arrangement (20) facing away from the cavity (17) in a plane parallel to the plane of the bottom electrode (15) is equal to or less than 10 %.
(FR)L'invention concerne un module de capteur de pression (10) comprenant une électrode de base (14) entourant au moins une partie d'une électrode inférieure (15), et un agencement d'ancrage (20) au-dessus de l'électrode de base (14) comprenant au moins deux parois électriquement conductrices (19) qui toutes deux entourent au moins une partie de l'électrode inférieure (15). Le module de capteur de pression (10) comprend en outre une couche électriquement conductrice (18) qui recouvre au moins l'électrode inférieure (15) et l'agencement d'ancrage (20) de telle sorte qu'une cavité (17) est formée entre l'électrode inférieure (15), l'agencement d'ancrage (20) et la couche électriquement conductrice (18). La zone proportionnelle des parois électriquement conductrices (19) dans une section transversale s'étendant de la surface (32) de la paroi intérieure de l'agencement d'ancrage (20) faisant face à la cavité (17) à la surface (33) de la paroi la plus à l'extérieur de l'agencement d'ancrage (20) orientée à l'opposé à la cavité (17), dans un plan parallèle au plan de l'électrode inférieure (15), est égale ou inférieure à 10 %.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)