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1. (WO2018024476) DEVICE AND METHOD FOR PROCESSING A RADIATION BEAM WITH COHERENCE
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Pub. No.: WO/2018/024476 International Application No.: PCT/EP2017/068047
Publication Date: 08.02.2018 International Filing Date: 17.07.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,G02B 6/42 (2006.01) ,G02B 6/26 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.[NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventors: GOORDEN, Sebastianus, Adrianus; NL
PANDEY, Nitesh; NL
AKBULUT, Duygu; NL
TUKKER, Teunis, Willem; NL
DE WIT, Johannes, Matheus, Marie; NL
Agent: BROEKEN, Petrus; NL
Priority Data:
16182256.401.08.2016EP
Title (EN) DEVICE AND METHOD FOR PROCESSING A RADIATION BEAM WITH COHERENCE
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ PERMETTANT DE TRAITER UN FAISCEAU DE RAYONNEMENT AYANT UNE COHÉRENCE
Abstract: front page image
(EN) Devices and methods for processing a radiation beam with coherence are disclosed. In one arrangement, an optical system receives a radiation beam with coherence. The radiation beam comprises components distributed over one or more radiation beam spatial modes. A waveguide supports a plurality of waveguide spatial modes. The optical system directs a plurality of the components of the radiation beam belonging to a common radiation beam spatial mode and having different frequencies onto the waveguide in such a way that each of the plurality of components couples to a different set of the waveguide spatial modes, each set comprising one or more of the waveguide spatial modes.
(FR) La présente invention concerne des dispositifs et des procédés permettant de traiter un faisceau de rayonnement ayant une cohérence. Selon un mode de réalisation, un système optique reçoit un faisceau de rayonnement ayant une cohérence. Le faisceau de rayonnement comprend des composantes réparties sur un ou plusieurs modes spatiaux de faisceau de rayonnement. Un guide d'ondes prend en charge une pluralité de modes spatiaux de guide d'ondes. Le système optique dirige une pluralité des composantes du faisceau de rayonnement appartenant à un mode spatial de faisceau de rayonnement commun et ayant des fréquences différentes sur le guide d'ondes de telle manière que chaque composante de la pluralité de composantes se couple à un ensemble différent des modes spatiaux du guide d'ondes, chaque ensemble comprenant un ou plusieurs modes des modes spatiaux du guide d'ondes.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)