WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2018022670) METHODS FOR MASKING A PIN CHUCK, AND ARTICLES MADE THEREBY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau    Submit observation

Pub. No.:    WO/2018/022670    International Application No.:    PCT/US2017/043809
Publication Date: 01.02.2018 International Filing Date: 25.07.2017
IPC:
H01L 21/687 (2006.01)
Applicants: M CUBED TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 31 Pecks Lane, Suite 8 Newtown, Connecticut 06470 (US)
Inventors: GRATRIX, Edward; (US).
SPITZMACHER, William; (US).
CASALE, David; (US).
ROLLINS, Derek; (US).
KLINGER, Robert; (US)
Agent: RAMBERG, Jeffrey R.; (US)
Priority Data:
62/367,094 26.07.2016 US
Title (EN) METHODS FOR MASKING A PIN CHUCK, AND ARTICLES MADE THEREBY
(FR) PROCÉDÉS DE MASQUAGE D’UN MANDRIN À BROCHES, ET ARTICLES AINSI FABRIQUÉS
Abstract: front page image
(EN)A method for selectively coating the tops of pins of a pin chuck with a high thermal stability material, such as diamond-like carbon (DLC). Non-pin areas ("valleys") of the pin chuck support surface are temporarily covered with glass frit or glass beads during the DLC coating operation. After coating, the glass frit/beads masking material may be removed, leaving the DLC material selectively coating the pin tops. The selective DLC coating avoids the cracking or warping problems due to CTE mismatch when DLC is coated over the entire pin chuck support surface, as the pin chuck material typically is very different from DLC.
(FR)L’invention concerne un procédé de revêtement sélectif des pointes de broches d’un mandrin à broches avec un matériau à haute stabilité thermique, de type carbone adamantin (DLC). Des zones sans broches (« vallées ») de la surface de support du mandrin à broches sont recouvertes temporairement de fritte de verre ou de perles de verre pendant l’opération de revêtement de DLC. Après le revêtement, les frittes/perles de verre masquant le matériau peuvent être retirées, laissant le matériau de DLC recouvrir sélectivement les pointes des broches. Le revêtement sélectif de DLC évite les problèmes de fissure et de gauchissement causés par le défaut d’appariement de CTE lorsque le DLC est appliqué sur l’ensemble de la surface de support du mandrin à broches, le matériau du mandrin à broches étant typiquement très différent du DLC.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)