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1. (WO2018021166) ANGULAR VELOCITY SENSOR, SENSOR ELEMENT, AND MULTI-AXIS ANGULAR VELOCITY SENSOR
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Pub. No.:    WO/2018/021166    International Application No.:    PCT/JP2017/026389
Publication Date: 01.02.2018 International Filing Date: 21.07.2017
IPC:
G01C 19/5621 (2012.01), H01L 41/047 (2006.01), H01L 41/09 (2006.01), H01L 41/113 (2006.01)
Applicants: KYOCERA CORPORATION [JP/JP]; 6, Takeda Tobadono-cho, Fushimi-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6128501 (JP)
Inventors: SOEJIMA, Munetaka; (JP)
Agent: IIJIMA, YASUHIRO; Sohshin International Patent Office, SS building 2F, 4-2, Nishi-Shinbashi 3-chome, Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
Priority Data:
2016-146353 26.07.2016 JP
Title (EN) ANGULAR VELOCITY SENSOR, SENSOR ELEMENT, AND MULTI-AXIS ANGULAR VELOCITY SENSOR
(FR) CAPTEUR DE VITESSE ANGULAIRE, ÉLÉMENT DE CAPTEUR ET CAPTEUR DE VITESSE ANGULAIRE MULTIAXIAL
(JA) 角速度センサ、センサ素子および多軸角速度センサ
Abstract: front page image
(EN)An angular velocity sensor has a piezoelectric body, a drive circuit, and a detection circuit. The piezoelectric body has a frame, a pair of drive arms, and a detection arm. The frame is supported by a pair of supported sections separated from each other in the x axis direction. The pair of drive arms extend, in parallel in the y axis direction, from the frame at positions between the pair of supported sections and mutually separated in the x axis direction. The detection arm extends in the y axis direction from the frame at a position between the pair of drive arms in the x axis direction. The drive circuit applies voltages of mutually inverse phases to the pair of drive arms, such that the pair of drive arms bend towards mutually opposite sides in the x axis direction and vibrate. The detection circuit detects signals generated as a result of bending deformation in the z axis direction of the detection arm.
(FR)La présente invention concerne un capteur de vitesse angulaire comprenant un corps piézoélectrique, un circuit d'attaque et un circuit de détection. Le corps piézoélectrique comporte un cadre, une paire de bras d'entraînement et un bras de détection. Le cadre est supporté par une paire de sections supportées séparées l'une de l'autre dans la direction de l'axe x. La paire de bras d'entraînement s'étend, parallèlement dans la direction de l'axe y, à partir du cadre à des positions situées entre la paire de sections supportées et mutuellement séparées dans la direction de l'axe x. Le bras de détection s'étend dans la direction de l'axe y à partir du cadre à une position entre la paire de bras d'entraînement dans la direction de l'axe x. Le circuit d'attaque applique des tensions de phases mutuellement inversées à la paire de bras d'entraînement, de telle sorte que la paire de bras d'entraînement se plie vers des côtés mutuellement opposés dans la direction de l'axe x et vibre. Le circuit de détection détecte les signaux générés du fait de la déformation par flexion dans la direction de l'axe z du bras de détection.
(JA)角速度センサは、圧電体、駆動回路および検出回路を有している。圧電体は、フレーム、1対の駆動腕および検出腕を有している。フレームは、x軸方向に互いに離れた1対の被支持部において支持されている。1対の駆動腕は、1対の被支持部の間かつx軸方向に互いに離れた位置にてフレームからy軸方向に互いに並列に延びている。検出腕は、x軸方向において1対の駆動腕の間となる位置にてフレームからy軸方向に延びている。駆動回路は、1対の駆動腕がx軸方向において互いに逆側へ曲がって振動するように1対の駆動腕に互いに逆の位相の電圧を印加する。検出回路は、検出腕のz軸方向における曲げ変形により生じる信号を検出する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)