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1. (WO2018020956) SAMPLE HOLDER
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Pub. No.: WO/2018/020956 International Application No.: PCT/JP2017/024133
Publication Date: 01.02.2018 International Filing Date: 30.06.2017
H01L 21/683 (2006.01) ,H02N 13/00 (2006.01)
Applicants: KYOCERA CORPORATION[JP/JP]; 6, Takeda Tobadono-cho, Fushimi-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6128501, JP
Inventors: AKABANE, Kenichi; JP
Priority Data:
(JA) 試料保持具
Abstract: front page image
(EN) This sample holder is provided with a disk-shaped ceramic body having an upper surface that serves as a sample holding surface for holding a sample, and an attraction electrode disposed within the ceramic body, wherein: the upper surface of the ceramic body has an annular first peripheral wall provided along the outer periphery of the ceramic body so as to protrude therefrom, and a plurality of protrusions provided on the inner side of the first peripheral wall; and corner parts between the upper surface and lateral surfaces of the first peripheral wall are configured to have rounded surfaces where, when viewed in a cross-sectional plane cutting through the center of the ceramic body in a plan view, the rounded surface located at the outer side of the first peripheral wall has a smaller curvature radius than the rounded surface located at the inner side.
(FR) La présente invention concerne un porte-échantillon comprenant un corps en céramique discoïde pourvu d'une surface supérieure servant de surface de support d'échantillon destinée à contenir un échantillon, et une électrode d'attraction disposée à l'intérieur du corps en céramique. La surface supérieure du corps en céramique présente une première paroi périphérique annulaire disposée le long de la périphérie extérieure du corps en céramique de manière à faire saillie depuis ce dernier, et une pluralité de saillies disposées sur le côté intérieur de la première paroi périphérique. Des parties de coin situées entre la surface supérieure et les surfaces latérales de la première paroi périphérique sont conçues de façon à présenter des surfaces arrondies, la surface arrondie située du côté extérieur de la première paroi périphérique possédant un rayon de courbure inférieur au rayon de courbure de la surface arrondie située du côté intérieur depuis un plan transversal coupant le centre du corps en céramique dans une vue en plan.
(JA) 試料保持具は、上面が試料を保持する試料保持面となる円板状のセラミック体と、該セラミック体の内部に設けられた吸着電極とを備え、前記セラミック体の上面には、外周に沿って突出して設けられた環状の第1の周壁部と該第1の周壁部の内側に設けられた複数の凸部とを有し、前記第1の周壁部の上面と側面との間の角部がR面になっており、前記セラミック体を平面視による中心を通るように切断した切断面で見たときに、前記第1の周壁部における内側に位置するR面の曲率半径よりも外側に位置するR面の曲率半径のほうが小さい。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)