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1. (WO2018020626) CHARGED-PARTICLE BEAM APPARATUS
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Pub. No.: WO/2018/020626 International Application No.: PCT/JP2016/072103
Publication Date: 01.02.2018 International Filing Date: 28.07.2016
IPC:
H01J 37/244 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION[JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
Inventors: IKEDA Uki; JP
BIZEN Daisuke; JP
SAKAKIBARA Makoto; JP
SUZUKI Makoto; JP
Agent: TODA Yuji; JP
Priority Data:
Title (EN) CHARGED-PARTICLE BEAM APPARATUS
(FR) APPAREIL À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置
Abstract: front page image
(EN) The purpose of the present invention is to provide a charged-particle beam apparatus capable of performing various types of signal discriminations according to the shape and the size of a sample. The present invention proposes a charged-particle beam apparatus for irradiating a sample disposed in a vacuum vessel (120) with a charged particle beam. The charged-particle beam apparatus is provided with: a first light-generating surface (109) for generating light on the basis of the collision of charged particles released from the sample; a light-guiding member (112) for guiding the generated light to the outside of the vacuum vessel while maintaining the generation distribution of the light generated at the first light-generating surface; a photodetector (114) for detecting the light guided by the light-guiding member to the outside of the vacuum vessel; and a light-transmission restricting member (113) for restricting transmission of the light guided by the light-guiding member between the photodetector and the light-guiding member.
(FR) L’objet de la présente invention est de produire un appareil à faisceau de particules chargées pouvant effectuer divers types de discriminations de signaux selon la forme et la taille d’un échantillon. La présente invention concerne un appareil à faisceau de particules chargées pour l’irradiation d’un échantillon disposé dans une ampoule à vide (120) avec un faisceau de particules chargées. L’appareil à faisceau de particules chargées comporte : une première surface génératrice de lumière (109) pour la génération de lumière sur la base de la collision de particules chargées libérées par l’échantillon ; un organe guide de lumière (112) pour le guidage de la lumière générée vers l’extérieur de l’ampoule à vide tout en maintenant la distribution de génération de la lumière générée à la première surface génératrice de lumière ; un photodétecteur (114) pour la détection de la lumière guidée par l’organe guide de lumière vers l’extérieur de l’ampoule à vide ; et un organe de restriction d’émission de lumière (113) pour la restriction de l’émission de la lumière guidée par l’organe guide de lumière entre le photodétecteur et l’organe guide de lumière.
(JA) 本発明は、試料の形状や大きさに応じた種々の信号弁別を行うことができる荷電粒子線装置の提供を目的とする。本発明は、真空容器(120)内に配置された試料に対し、荷電粒子ビームを照射する荷電粒子線装置であって、前記試料から放出された荷電粒子の衝突に基づいて光を発生する第1の光発生面(109)と、当該第1の光発生面で発生した光の発生分布を維持しつつ、前記真空容器外に前記発生した光を導く導光部材(112)と、当該導光部材によって真空容器外に導かれた光を検出する光検出器(114)と、当該光検出器と、前記導光部材との間に、前記導光部材によって導かれた光の通過を制限する光通過制限部材(113)を備えた荷電粒子線装置を提案する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)