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1. (WO2018020614) PENDULUM SENSOR UNIT, SUBSTRATE DETECTION DEVICE, AND SUBSTRATE CONVEYANCE DEVICE
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Pub. No.:    WO/2018/020614    International Application No.:    PCT/JP2016/072037
Publication Date: 01.02.2018 International Filing Date: 27.07.2016
IPC:
G01V 9/00 (2006.01), H01H 36/00 (2006.01)
Applicants: SAKAI DISPLAY PRODUCTS CORPORATION [JP/JP]; 1, Takumicho, Sakai-ku, Sakai-shi, Osaka 5908522 (JP)
Inventors: TAKAGI, Toshihide; (JP).
NONAKA, Kenichi; (JP)
Agent: KOHNO, Hideto; (JP).
KOHNO, Takao; (JP)
Priority Data:
Title (EN) PENDULUM SENSOR UNIT, SUBSTRATE DETECTION DEVICE, AND SUBSTRATE CONVEYANCE DEVICE
(FR) ENSEMBLE CAPTEUR PENDULAIRE, DISPOSITIF DE DÉTECTION DE SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
(JA) 振子センサユニット、基板検出装置及び基板搬送装置
Abstract: front page image
(EN)Provided are a pendulum sensor unit, substrate detection device, and substrate conveyance device capable of reducing swinging time. A pendulum sensor unit is provided with a pillar-shaped pendulum body, two support shafts that protrude from the outer peripheral surface of the pendulum body along the same axis, a support base that supports the pendulum body such that the same is capable of swinging about the support shafts, and a sensor that detects the swinging of the pendulum body and is disposed so as to oppose the outer peripheral surface in the direction of the protrusion of one of the two support shafts in a state where the pendulum body is supported in the vertical direction by the support base.
(FR)L'invention concerne un ensemble capteur pendulaire, un dispositif de détection de substrat et un dispositif de transport de substrat pouvant réduire le temps d'oscillation. Un ensemble capteur pendulaire est pourvu d'un corps pendulaire en forme de colonne, de deux arbres de support qui font saillie depuis la surface périphérique externe du corps pendulaire le long du même axe, d'une base de support qui supporte le corps pendulaire de sorte que celui-ci puisse osciller autour des arbres de support, et d'un capteur qui détecte l'oscillation du corps pendulaire et est disposé en regard de la surface périphérique externe dans la direction de la saillie de l'un des deux arbres de support dans un état dans lequel le corps pendulaire est supporté dans la direction verticale par la base de support.
(JA)揺動時間を短くすることができる振子センサユニット、基板検出装置及び基板搬送装置を提供する。 柱形状の振子体と、振子体の外周面から同軸上に突出した二つの支持軸と、支持軸回りに振子体を揺動可能に支持する支持台と、支持台によって振子体が鉛直方向に支持された状態で外周面に対して二つの支持軸の一方の支持軸が突出した向きに対向配置され、振子体の揺動を検出するセンサとを備える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)