WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2018020214) MEMS DEVICE AND PROCESS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau    Submit observation

Pub. No.:    WO/2018/020214    International Application No.:    PCT/GB2017/052054
Publication Date: 01.02.2018 International Filing Date: 13.07.2017
IPC:
H04R 7/18 (2006.01), H04R 19/00 (2006.01), B81C 1/00 (2006.01)
Applicants: CIRRUS LOGIC INTERNATIONAL SEMICONDUCTOR LIMITED [GB/GB]; 7B Nightingale Way Quartermile Edinburgh Lothian EH3 9EG (GB)
Inventors: BOYD, Euan James; (GB)
Agent: HASELTINE LAKE LLP; (GB)
Priority Data:
62/367,946 28.07.2016 US
1616858.5 04.10.2016 GB
Title (EN) MEMS DEVICE AND PROCESS
(FR) DISPOSITIF MEMS ET PROCÉDÉ
Abstract: front page image
(EN)The application describes MEMS transducers comprising a flexible membrane layer supported in a fixed relation relative to a substrate along at least one supporting edge, wherein a plurality of slits are provided through the membrane layer. The slits define a plurality of beams. Each beam defines a path between first and second endpoints of the beam, the path comprising at least one change in direction. Also described are transducers wherein the membrane layer is supported in a fixed relation relative to the substrate along a plurality of supporting edges which define a membrane region that is substantially bounded by the supporting edges.
(FR)L'invention concerne des transducteurs MEMS comprenant une couche de membrane flexible supportée dans une relation fixe par rapport à un substrat le long d'au moins un bord de support, une pluralité de fentes étant prévues à travers la couche de membrane. Les fentes définissent une pluralité de faisceaux. Chaque faisceau définit un trajet entre des premier et second points d'extrémité du faisceau, le trajet comprenant au moins un changement de direction. L'invention concerne également des transducteurs dans lesquels la couche de membrane est supportée dans une relation fixe par rapport au substrat le long d'une pluralité de bords de support qui définissent une région de membrane qui est sensiblement délimitée par les bords de support.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)