Some content of this application is unavailable at the moment.
If this situation persist, please contact us atFeedback&Contact
1. (WO2018019532) METHOD FOR POLISHING CONDUCTIVE METAL SURFACES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau    Submit observation

Pub. No.: WO/2018/019532 International Application No.: PCT/EP2017/066768
Publication Date: 01.02.2018 International Filing Date: 05.07.2017
IPC:
C25F 3/16 (2006.01) ,C25F 5/00 (2006.01) ,C25F 7/00 (2006.01)
C CHEMISTRY; METALLURGY
25
ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
F
PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
3
Electrolytic etching or polishing
16
Polishing
C CHEMISTRY; METALLURGY
25
ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
F
PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
5
Electrolytic stripping of metallic layers or coatings
C CHEMISTRY; METALLURGY
25
ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
F
PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
7
Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic removal of material from objects; Servicing or operating
Applicants:
LEIBNIZ-INSTITUT FÜR PLASMAFORSCHUNG UND TECHNOLOGIE E.V. [DE/DE]; Felix-Hausdorff-Str. 2 17489 Greifswald, DE
Inventors:
POLAK, Martin; DE
WELTMANN, Klaus-Dieter; DE
IHRKE, Roland; DE
FRÖHLICH, Maik; DE
QUADE, Antje; DE
Agent:
SCHULZ JUNGHANS PATENTANWÄLTE PARTGMBB; Thomas Dertinger Großbeerenstraße 71 10963 Berlin, DE
Priority Data:
16181110.425.07.2016EP
Title (EN) METHOD FOR POLISHING CONDUCTIVE METAL SURFACES
(FR) PROCÉDÉ DE POLISSAGE DE SURFACES MÉTALLIQUES CONDUCTRICES
Abstract:
(EN) A method for polishing a conductive metal surface is provided. The method comprises the steps of a) providing an electrolyte comprising ammonium nitrate and ammonium chloride, b) connecting a first electrode to the conductive metal surface and connecting a second electrode to the electrolyte, wherein said conductive metal surface is the anode. Then, a gas phase surrounding the conductive metal surface is generated. This step comprises in no particular order a first voltage step and an immersion step. The first voltage step comprises applying a first electrical voltage to the first and second electrode, wherein this first electrical voltage is suitable for generating the gas phase. The immersion step comprises contacting the conductive metal surface with the electrolyte. Then, a second electrical voltage is applied and maintained for a period of at least 1 second.
(FR) La présente invention concerne un procédé de polissage d’une surface métallique conductrice. Le procédé comprend les étapes de a) fourniture d’un électrolyte comprenant du nitrate d’ammonium et du chlorure d’ammonium, b) connexion d’une première électrode à la surface métallique conductrice et connexion d’une seconde électrode à l’électrolyte, ladite surface métallique conductrice étant l’anode. Ensuite, une phase gazeuse entourant la surface métallique conductrice est générée. Cette étape comprend selon aucun ordre particulier une première étape de tension et une étape d’immersion. La première étape de tension comprend l’application d’une première tension électrique à la première et seconde électrode, cette première tension électrique convenant pour produire la phase gazeuse. L’étape d’immersion comprend la mise en contact de la surface métallique conductrice avec l’électrolyte. Ensuite, une second tension électrique est appliquée et maintenue sur une durée d’au moins 1 seconde.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)