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1. (WO2018019225) DOCKING DEVICE AND METHOD FOR SUBSTRATE
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Pub. No.:    WO/2018/019225    International Application No.:    PCT/CN2017/094271
Publication Date: 01.02.2018 International Filing Date: 25.07.2017
IPC:
H01L 21/683 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT (GROUP) CO., LTD. [CN/CN]; 1525 Zhangdong Road, Zhangjiang High-Tech Park Shanghai 201203 (CN)
Inventors: WANG, Dong; (CN).
LIU, Kai; (CN).
WANG, Gang; (CN).
RUAN, Dong; (CN).
SONG, Haijun; (CN)
Agent: SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; Room 341, Building 1 789 West Tianshan Road, Changning District Shanghai 200335 (CN)
Priority Data:
201610612918.0 29.07.2016 CN
Title (EN) DOCKING DEVICE AND METHOD FOR SUBSTRATE
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D'AMARRAGE POUR SUBSTRAT
(ZH) 基板的对接装置及对接方法
Abstract: front page image
(EN)Provided are a docking device and method for a substrate. The docking device for a substrate comprises a rotation mechanism (110) driving a substrate to rotate and at least one substrate suction mechanism (120). The substrate suction mechanism (120) is used to support and fix the substrate. The rotation mechanism (110) drives the substrate suction mechanism (120) to rotate. The docking device for a substrate can preferentially rotate a substrate to a required angular position when the substrate needs to enter a substrate production line apparatus or enter a storage area from a different angular position, thereby realizing rotary docking of the substrate.
(FR)L'invention concerne un dispositif et un procédé d'amarrage pour un substrat. Le dispositif d'amarrage pour un substrat comprend un mécanisme de rotation (110) entraînant un substrat en rotation et au moins un mécanisme d'aspiration de substrat (120). Le mécanisme d'aspiration de substrat (120) est utilisé pour supporter et fixer le substrat. Le mécanisme de rotation (110) entraîne le mécanisme d'aspiration de substrat (120) en rotation. Le dispositif d'amarrage pour un substrat peut, de préférence, faire tourner un substrat jusqu'à une position angulaire requise lorsque le substrat doit entrer dans un appareil de ligne de production de substrat ou entrer dans une zone de stockage à partir d'une position angulaire différente, réalisant ainsi un amarrage rotatif du substrat.
(ZH)提供了一种基板的对接装置及对接方法,其中,基板的对接装置包括带动基板旋转的旋转机构(110)以及至少一个基板吸附机构(120),所述基板吸附机构(120)用于支撑并固定基板,所述旋转机构(110)带动所述基板吸附机构(120)旋转。通过提供的基板的对接装置,以实现当基板需从不同角度位置进入基板产线设备或版库时,可优先对基板进行旋转以达到所需的角度位置,进而实现基板的旋转对接的过程。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)