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Pub. No.: WO/2018/016430 International Application No.: PCT/JP2017/025676
Publication Date: 25.01.2018 International Filing Date: 14.07.2017
G01N 23/201 (2006.01) ,G01N 23/203 (2006.01)
Applicants: RIGAKU CORPORATION[JP/JP]; 3-9-12, Matsubara-cho, Akishima-shi, Tokyo 1968666, JP
Inventors: OGATA Kiyoshi; JP
OMOTE Kazuhiko; JP
ITO Yoshiyasu; JP
Agent: YAMAMOTO Toshitake; JP
Priority Data:
(JA) 複合検査システム
Abstract: front page image
(EN) This combined inspection system is an inspection system including a first inspecting device (1) which inspects a specimen (11) on the basis of X-ray measured data obtained by irradiating the specimen (11) with X-rays, and a second inspecting device (2) which inspects the specimen (11) using a measuring technique that does not employ X-rays. The X-ray measured data obtained by the first inspecting device (1), or an analysis result of the X-ray measured data, are output to the second inspecting device (2). Furthermore, the second inspecting device (2) utilizes the X-ray measured data input from the first inspecting device (1), or the analysis result of the X-ray measured data, to analyze the structure of the specimen (11).
(FR) La présente invention concerne un système d'inspection combiné qui comprend un premier dispositif d'inspection (1) qui inspecte un spécimen (11) sur la base de données mesurées par rayons X, obtenues par irradiation du spécimen (11) avec des rayons X, et un second dispositif d'inspection (2) qui inspecte le spécimen (11) à l'aide d'une technique de mesure n'utilisant pas de rayons X. Les données de mesure de rayons X obtenues par le premier dispositif d'inspection (1), ou un résultat d'analyse des données mesurées par rayons X, sont fournies au second dispositif d'inspection (2). En outre, le second dispositif d'inspection (2) utilise les données mesurées par rayons X, saisies par le premier dispositif d'inspection (1), ou le résultat d'analyse des données mesurées par rayons X, pour analyser la structure du spécimen (11).
(JA) 本発明の複合検査システムは、試料(11)にX線を照射して得られたX線測定データに基づき試料(11)を検査する第1の検査装置(1)と、X線を用いない測定手法により試料(11)を検査する第2の検査装置(2)と、を含む検査システムである。第1の検査装置(1)で得られたX線測定データまたは当該X線測定データの解析結果を第2の検査装置(2)へ出力する。そして、第2の検査装置(2)では、第1の検査装置(1)から入力したX線測定データまたは当該X線測定データの解析結果を利用して、試料(11)の構造を解析する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)