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1. (WO2018015835) MICROCANTILEVER SENSORS FOR COMBINED MICROSCOPY
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Pub. No.:    WO/2018/015835    International Application No.:    PCT/IB2017/054103
Publication Date: 25.01.2018 International Filing Date: 07.07.2017
IPC:
G01Q 60/38 (2010.01), G01Q 70/10 (2010.01)
Applicants: AMG TECHNOLOGY LTD. [BG/BG]; Microelectronica Industrial Zone 2140 Botevgrad (BG).
STAVROV, Vladimir [BG/BG]; (BG)
Inventors: STAVROV, Vladimir; (BG)
Agent: YORDANOVA, Svetla; (BG)
Priority Data:
112337 21.07.2016 BG
Title (EN) MICROCANTILEVER SENSORS FOR COMBINED MICROSCOPY
(FR) CAPTEURS À MICRO-PORTE-À-FAUX DESTINÉS À LA MICROSCOPIE COMBINÉE
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to microcantilever sensors for atomic force microscopy (AFM), which are particularly suitable for use in combined systems exploiting simultaneously AFM and other type of microscopy, like: optical or electron, as well as a method of local micro / nano processing. The sensor of the invention comprises a body with a microcantilever extending from it, comprising flexible base portion and probe portion. The sensor contains in the probe portion an opening with symmetrical connecting flexure elements around it. To ensure the visibility to the area of interaction between the probe and the sample and to the probe tip, the base of the probe ends in the opening and the radius r and height h of the base of the probe satisfy the relationship: arctg (r/h)<α, where α is the apparatus dependant tilt angle of the sensor to the plane of the sample. The spring constants of the both portions of the invented sensor can be set separately and the sensor may further comprise: strain sensitive elements for detecting the microcantilever bending and additional openings in the base part; bimorph actuator, galvanic connecting tracks and /or other functional elements.
(FR)L'invention concerne des capteurs à micro-porte-à-faux destinés à la microscopie à force atomique (AFM). Les capteurs sont particulièrement appropriés pour être utilisés dans des systèmes combinés exploitant simultanément l'AFM et un autre type de microscopie comme la microscopie optique ou électronique, ainsi qu'un procédé de micro/nano traitement local. Le capteur de l'invention comprend un corps pourvu d'un micro-porte-à-faux s'étendant à partir dudit corps qui comprend une partie base flexible et une partie sonde. Le capteur contient, dans la partie sonde, une ouverture comportant autour d'elle des éléments de flexion à connexion symétrique. Afin d'assurer la visibilité de la zone d'interaction entre la sonde et l'échantillon et jusqu'à la pointe de la sonde, la base de la sonde se termine dans l'ouverture et le rayon r et la hauteur h de la base de la sonde satisfont la relation : arctg (r/h)<α, α représentant l'angle d'inclinaison dépendant de l'appareil du capteur par rapport au plan de l'échantillon. Les constantes d'élasticité des deux parties du capteur de l'invention peuvent être réglées séparément et le capteur peut en outre comprendre : des éléments sensibles aux contraintes permettant de détecter la courbure du micro-porte-à-faux et des ouvertures supplémentaires dans la partie base; un actionneur bimorphe, des pistes de connexion galvaniques et/ou d'autres éléments fonctionnels.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)