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1. (WO2018013909) MULTI-LAYER COATING WITH DIFFUSION BARRIER LAYER AND EROSION RESISTANT LAYER
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Pub. No.: WO/2018/013909 International Application No.: PCT/US2017/042110
Publication Date: 18.01.2018 International Filing Date: 14.07.2017
IPC:
C23C 28/04 (2006.01) ,C23C 16/34 (2006.01) ,C23C 16/40 (2006.01) ,C23C 16/455 (2006.01) ,C23C 16/56 (2006.01) ,C23C 14/06 (2006.01) ,C23C 14/08 (2006.01) ,C23C 14/58 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.[US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054, US
Inventors: FENWICK, David; US
WU, Xiaowei; US
SUN, Jennifer, Y.; US
Agent: PORTNOVA, Marina; US
KIMES, Benjamin A.; US
KOPELEVICH, Sofia; US
Priority Data:
15/646,60211.07.2017US
62/362,93615.07.2016US
Title (EN) MULTI-LAYER COATING WITH DIFFUSION BARRIER LAYER AND EROSION RESISTANT LAYER
(FR) REVÊTEMENT MULTICOUCHE AVEC COUCHE BARRIÈRE DE DIFFUSION ET COUCHE RÉSISTANT À L'ÉROSION
Abstract: front page image
(EN) A multi-layer coating for a surface of an article comprising a diffusion barrier layer and an erosion resistant layer. The diffusion barrier layer may be a nitride film including but not limited to TiNx, TaNx, Zr3N4, and TiZrxNy. The erosion resistant layer may be a rare oxide film including but not limited to YF3, Y2O3, Er2O3, Al2O3, ZrO2, ErAlxOy, YOxFy, YAlxOy, YZrxOy and YZrxAlyOz. The diffusion barrier layer and the erosion resistant layer may be deposited on the articles surface using a thin film deposition technique including but not limited to, ALD, PVD, and CVD.
(FR) Cette invention concerne un revêtement multicouche pour une surface d'un article, comprenant une couche barrière de diffusion et une couche résistant à l'érosion. La couche barrière de diffusion peut être un film de nitrure comprenant, sans pour autant s'y limiter : TinNx, TaNx, Zr3N4, et TiZr xNy. La couche résistant à l'érosion peut être un film d'oxyde rare comprenant, sans pour autant s'y limiter : YF3, Y2O3, Er2O3, Al2O3, ZrO2, ErAlxOy, YOxFy, YAlxOy, YZrxOy et YZrxAlyOz. La couche barrière de diffusion et la couche résistant à l'érosion peuvent être déposées sur la surface des articles à l'aide d'une technique de dépôt de film mince comprenant, sans pour autant s'y limiter, le dépôt de couche atomique, le dépôt physique en phase vapeur et le dépôt chimique en phase vapeur.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)