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1. (WO2018012324) PELLICLE FRAME AND PELLICLE
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Pub. No.:    WO/2018/012324    International Application No.:    PCT/JP2017/024177
Publication Date: 18.01.2018 International Filing Date: 30.06.2017
IPC:
G03F 1/64 (2012.01), C22C 21/00 (2006.01), C22F 1/04 (2006.01), C25D 11/04 (2006.01), C25D 11/06 (2006.01), C25D 11/22 (2006.01), C22F 1/00 (2006.01)
Applicants: NIPPON LIGHT METAL COMPANY, LTD. [JP/JP]; 2-20, Higashi-shinagawa 2-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1408628 (JP)
Inventors: TAGUCHI Yoshihiro; (JP).
YAMAGUCHI Takayuki; (JP).
YU Jun; (JP).
ISHIWATA Yasuo; (JP)
Agent: NAKA, Koichi; (JP).
MORISADA Yoshiaki; (JP).
TANAKA Isao; (JP)
Priority Data:
2016-137523 12.07.2016 JP
Title (EN) PELLICLE FRAME AND PELLICLE
(FR) CADRE DE PELLICULE ET PELLICULE
(JA) ペリクル枠及びペリクル
Abstract: front page image
(EN)A pellicle frame (2) which can effectively suppress deformation of an exposure master plate (8) caused by adhesion of the pellicle (1), and which does not have a complex shape, and a pellicle which uses said pellicle frame are provided. This pellicle frame is provided with an anodic oxidation coating on the surface of an aluminum alloy frame, and is characterized in that the aluminum alloy frame contains Ca: 5.0-10.0 wt% with the remainder aluminum and unavoidable impurities, the area (volume) ratio of the Al4Ca phase, which is a dispersed phase, is greater than or equal to 25%, the crystal structure of part of the Al4Ca phase is formed from an aluminum alloy which is monoclinic, and the anodic oxidation coating has Al4Ca particles.
(FR)La présente invention porte sur un cadre de pellicule (2) qui peut empêcher de manière efficace la déformation d'une plaque maîtresse d'exposition (8) provoquée par l'adhérence de la pellicule (1), et qui ne présente pas une forme complexe, ainsi que sur une pellicule qui utilise ledit cadre de pellicule. Ce cadre de pellicule est pourvu d'un revêtement d'oxydation anodique sur la surface d'un cadre en alliage d'aluminium, et est caractérisé en ce que le cadre en alliage d'aluminium contient du calcium (Ca) en une quantité comprise entre 5,0 et 10,0 % en poids, le reste étant de l'aluminium et des impuretés inévitables, le rapport surfacique (volumique) de la phase Al4Ca, qui est une phase dispersée, est supérieur ou égal à 25 %, la structure cristalline d'une partie de la phase Al4Ca est composée d'un alliage d'aluminium qui est monoclinique, et le revêtement d'oxydation anodique comporte des particules d'Al4Ca.
(JA)ペリクル(1)の貼り付けによる露光原版(8)の変形を効果的に抑制可能なペリクル枠(2)であって、複雑形状を有さないペリクル枠及び当該ペリクル枠を用いたペリクルを提供する。 アルミニウム合金製フレーム枠の表面に陽極酸化皮膜を備えたペリクル枠であって、当該アルミニウム合金製フレーム枠は、Ca:5.0~10.0wt%、残部がアルミニウムと不可避的不純物を有し、分散相であるAlCa相の面積(体積)率が25%以上であり、AlCa相の一部の結晶構造が単斜晶であるアルミニウム合金からなり、陽極酸化皮膜がAlCa粒子を有すること、を特徴とするペリクル枠。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)