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1. (WO2018011953) OPTICAL ELEMENT ANGLE ADJUSTMENT DEVICE AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION DEVICE
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Pub. No.:    WO/2018/011953    International Application No.:    PCT/JP2016/070884
Publication Date: 18.01.2018 International Filing Date: 14.07.2016
IPC:
G02B 7/00 (2006.01), G02B 7/198 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H05G 2/00 (2006.01)
Applicants: GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558 (JP)
Inventors: NAGAHAMA, Kenshiro; (JP).
WATANABE, Yukio; (JP)
Agent: MATSUURA, Kenzo; (JP)
Priority Data:
Title (EN) OPTICAL ELEMENT ANGLE ADJUSTMENT DEVICE AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'AJUSTEMENT D'ANGLE D'ÉLÉMENT OPTIQUE ET DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
(JA) 光学素子角度調整装置及び極端紫外光生成装置
Abstract: front page image
(EN)This optical element angle adjustment device is provided with: a first hinge, i.e., an elastic hinge that connects a first plate and a second plate to each other; an optical element holding section attached to the first plate and/or the second plate; and a first adjustment screw for adjusting the tilt angle of the first plate and/or the second plate by applying a force in the direction in which the first hinge is closed. A first pressing member, which is slidably in contact with the first plate and/or the second plate, is provided at a first adjustment screw end portion in the axis direction of the first adjustment screw. A first pressing member-side contact section and/or a first hinge-side contact section, with which the first pressing member is in contact, is formed as a curved surface section having a curved surface shape.
(FR)Ce dispositif d'ajustement d'angle d'élément optique est pourvu : d'une première articulation, c'est-à-dire d'une charnière élastique qui relie une première plaque et une seconde plaque l'une à l'autre; une section de maintien d'élément optique fixée à la première plaque et/ou à la seconde plaque; et une première vis de réglage pour régler l'angle d'inclinaison de la première plaque et/ou de la seconde plaque par application d'une force dans la direction dans laquelle la première articulation est fermée. Un premier élément de pression, qui est en contact coulissant avec la première plaque et/ou la seconde plaque, est disposé au niveau d'une première partie d'extrémité de vis de réglage dans la direction de l'axe de la première vis de réglage. Une première section de contact côté élément de pression et/ou une première section de contact côté charnière, avec laquelle le premier élément de pression est en contact, se présentent sous la forme d'une section de surface incurvée ayant une forme de surface incurvée.
(JA) 光学素子角度調整装置は、第1プレートと第2プレートとを連結する弾性ヒンジである第1ヒンジと、少なくとも第1プレート及び第2プレートのいずれか一方に取り付けられた光学素子保持部と、第1ヒンジを閉じる方向の力を与えて、第1プレート及び第2プレートの少なくとも一方の傾き角を調整する第1調整ねじと、を備える。第1調整ねじの軸方向の端部に第1プレート及び第2プレートのいずれか一方に対して摺動可能に当接する第1押し当て部材が設けられる。第1押し当て部材側当接部と、第1押し当て部材が当接する第1ヒンジ側当接部のうち少なくとも一方が曲面形状を成す曲面部となっている。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)