WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2018011854) MIST-COATING FILM FORMATION APPARATUS AND MIST-COATING FILM FORMATION METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau    Submit observation

Pub. No.: WO/2018/011854 International Application No.: PCT/JP2016/070424
Publication Date: 18.01.2018 International Filing Date: 11.07.2016
IPC:
B05B 17/06 (2006.01) ,B05B 7/26 (2006.01) ,B05B 13/00 (2006.01) ,B05B 15/00 (2006.01) ,B05D 1/02 (2006.01) ,B05D 7/24 (2006.01)
Applicants: TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC INDUSTRIAL SYSTEMS CORPORATION[JP/JP]; 3-1-1 Kyobashi, Chuo-ku, Tokyo 1040031, JP
Inventors: LI Tianming; JP
Agent: YOSHITAKE Hidetoshi; JP
Priority Data:
Title (EN) MIST-COATING FILM FORMATION APPARATUS AND MIST-COATING FILM FORMATION METHOD
(FR) APPAREIL DE FORMATION DE FILM PAR REVÊTEMENT PAR BRUMISATION ET PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM PAR REVÊTEMENT PAR BRUMISATION
(JA) ミスト塗布成膜装置及びミスト塗布成膜方法
Abstract: front page image
(EN) The purpose of the present invention is to provide a mist-coating film formation apparatus and a mist-coating film formation method with which a thin functional film that is not a metal oxide film can be formed. In the present invention, a raw material solution mist-forming mechanism (50) forms a mist from a raw material solution (5), which is a nanoparticle dispersion or a nanofiber dispersion, and obtains a raw material solution mist (6). A mist-coating mechanism (70) coats the raw material solution mist (6) on the surface of a substrate (9) to form an ultrathin liquid film of raw material solution on the surface of the substrate 9. A baking/drying mechanism (9) bakes/dries the substrate (9) on the surface of which the ultrathin liquid film of raw material solution has been formed on a hot plate (13) and evaporates the solvent of the ultrathin liquid film of raw material solution to form a thin film, which has the nanoparticle raw material or nanofiber raw material contained in the ultrathin liquid film of raw material solution as a constituent material, on the surface of the substrate (9).
(FR) L'objectif de la présente invention concerne un appareil de formation de film par revêtement par brumisation et un procédé de formation de film par revêtement par brumisation qui permettent de former un film fonctionnel mince qui n'est pas un film d'oxyde métallique. Dans la présente invention, un mécanisme (50) de formation de brouillard d'une solution de matière première forme un brouillard à partir d'une solution de matière première (5), qui est une dispersion de nanoparticules ou une dispersion de nanofibres, et permet d'obtenir un brouillard de solution de matière première (6). Un mécanisme (70) de revêtement par brumisation revêt le brouillard (6) de solution de matière première sur la surface d'un substrat (9) pour former un film liquide ultramince de solution de matière première sur la surface du substrat (9). Un mécanisme (9) de cuisson/séchage cuit/sèche le substrat (9) sur la surface duquel le film liquide ultramince de solution de matière première a été formé sur une plaque chaude (13) et évapore le solvant du film liquide ultramince de la solution de matière première pour former un film mince, qui contient la matière première de nanoparticules ou la matière première de nanofibres contenue dans le film liquide ultramince de solution de matière première en tant que matériau constitutif, sur la surface du substrat (9).
(JA) 本発明は、金属酸化膜以外の機能性を有する薄膜を成膜できるミスト塗布成膜装置及びミスト塗布成膜方法を提供することを目的とする。そして、本発明において、原料溶液ミスト化機構(50)は、ナノ粒子分散溶液あるいはナノファイバー分散溶液である原料溶液(5)をミスト化させて、原料溶液ミスト(6)を得る。ミスト塗布機構(70)は基板(9)の表面上に原料溶液ミスト(6)を塗布して、基板9の表面上に極薄原料溶液液膜を形成する。焼成・乾燥機構(90)はホットプレート(13)上において、表面上に極薄原料溶液液膜が形成された基板(9)を焼成・乾燥し、極薄原料溶液液膜の溶媒を蒸発させて極薄原料溶液液膜に含まれるナノ粒子原料あるいはナノファイバー原料を構成材料とした薄膜を基板(9)の表面上に成膜する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)