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1. (WO2018010961) CYCLIC ERROR MEASUREMENTS AND CALIBRATION PROCEDURES IN INTERFEROMETERS
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Pub. No.: WO/2018/010961 International Application No.: PCT/EP2017/066088
Publication Date: 18.01.2018 International Filing Date: 29.06.2017
IPC:
G01B 9/02 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.[NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventors: JANSEN, Maarten, Jozef; NL
VAN DER PASCH, Engelbertus, Antonius, Fransiscus; NL
COSIJNS, Suzanne, Johanna, Antonetta, Geertruda; NL
Agent: RAS, Michael; NL
Priority Data:
16179189.213.07.2016EP
Title (EN) CYCLIC ERROR MEASUREMENTS AND CALIBRATION PROCEDURES IN INTERFEROMETERS
(FR) MESURES D’ERREUR CYCLIQUE ET PROCÉDURES D’ÉTALONNAGE DANS DES INTERFÉROMÈTRES
Abstract: front page image
(EN) There is provided an interferometer system, comprising an heterodyne interferometer and a processing system. The heterodyne interferometer is arranged to provide a reference signal and a measurement signal. The reference signal has a reference phase. The measurement signal has a measurement phase and an amplitude. The processing system is arranged to determine a cyclic error of the heterodyne interferometer based on the reference phase, the measurement phase and the amplitude.
(FR) La présente invention concerne un système d’interféromètre, comprenant un interféromètre hétérodyne et un système de traitement. L’interféromètre hétérodyne est configuré pour fournir un signal de référence et un signal de mesure. Le signal de référence présente une phase de référence. Le signal de mesure présente une phase de mesure et une amplitude. Le système de traitement est configuré pour déterminer une erreur cyclique de l’interféromètre hétérodyne sur la base de la phase de référence, la phase de mesure et l’amplitude.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)