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1. (WO2018010272) METHOD AND SYSTEM FOR MANAGING DEFECT IN AUTOMATIC DEFECT CLASSIFICATION PROCESS
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Pub. No.:    WO/2018/010272    International Application No.:    PCT/CN2016/097168
Publication Date: 18.01.2018 International Filing Date: 29.08.2016
IPC:
G06T 7/00 (2017.01), G01N 21/00 (2006.01)
Applicants: DONGFANG JINGYUAN ELECTRON LIMITED [CN/CN]; Building 12, No.156, 4th Jinghai Road Beijing Economic Development District Beijing 100176 (CN)
Inventors: MA, Weimin; (CN).
WU, Xiaomei; (CN).
ZHANG, Zhaoli; (CN)
Agent: GUANGZHOU SCIHEAD PATENT AGENT CO. , LTD.; Room 1508, Huihua Commercial & Trade Building No. 80, XianLie Zhong Road, Yuexiu Guangzhou, Guangdong 510070 (CN)
Priority Data:
201610551876.4 13.07.2016 CN
Title (EN) METHOD AND SYSTEM FOR MANAGING DEFECT IN AUTOMATIC DEFECT CLASSIFICATION PROCESS
(FR) PROCÉDÉ ET SYSTÈME DE GESTION DE DÉFAUTS DANS UN PROCESSUS DE CLASSIFICATION AUTOMATIQUE DE DÉFAUTS
(ZH) 在自动缺陷分类流程中管理缺陷的方法及系统
Abstract: front page image
(EN)The present invention discloses a method and system for managing a defect in an automatic defect classification process. The method comprises: receiving a defect record based on a target sample check; extracting from a design database, related design data related associated with a region surrounding a defect position in the defect record, performing photolithographic simulation via a processor on the basis of the design data associated with the region, so as to determine a simulated image of a background region; comparing, via the processor, the simulated image of the background region with a defect image in the defect record, so as to determine whether the background region matches the defect image; and defining the defect as a system defect if the background region matches the defect image.
(FR)La présente invention décrit un procédé et un système pour gérer un défaut dans un processus de classification automatique de défauts. Le procédé consiste à : recevoir un enregistrement de défaut sur la base d'un contrôle d'échantillon cible; extraire d'une base de données de conception, des données de conception associées associées à une région entourant une position de défaut dans l'enregistrement de défaut, effectuer une simulation photolithographique par l'intermédiaire d'un processeur sur la base des données de conception associées à la région, de manière à déterminer une image simulée d'une région d'arrière-plan; à comparer, par l'intermédiaire du processeur, l'image simulée de la région d'arrière-plan avec une image de défaut dans l'enregistrement de défaut, de manière à déterminer si la région d'arrière-plan correspond à l'image de défaut; et à définir le défaut en tant que défaut du système si la région d'arrière-plan correspond à l'image de défaut.
(ZH)本发明公开了一种用于在自动缺陷分类流程中管理缺陷的方法及系统。该方法包括:基于对目标试样的检查,接收一个缺陷记录;从设计数据库中,对所述缺陷记录中一个缺陷的位置周围的一个区域,提取与其关联的相关设计数据;通过处理器,基于所述区域所关联的所述相关设计数据执行光刻仿真,以确定一个背景区域的仿真图像;通过所述处理器比较所述背景区域的仿真图像与所述缺陷记录中所述缺陷的一个缺陷图像以判断所述背景区域与所述缺陷图像是否匹配;基于所述背景区域与所述缺陷图像相匹配的判断,定义所述缺陷为系统缺陷。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)