WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2018009517) SYSTEMS AND METHODS FOR QUALITY CONTROL OF A PERIODIC STRUCTURE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau    Submit observation

Pub. No.:    WO/2018/009517    International Application No.:    PCT/US2017/040686
Publication Date: 11.01.2018 International Filing Date: 05.07.2017
IPC:
G01B 11/02 (2006.01), G01B 11/16 (2006.01), G01B 11/22 (2006.01), G01B 11/30 (2006.01)
Applicants: MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY [US/US]; 77 Massachusetts Ave Cambridge, Massachusetts 02139 (US).
UNIVERSITY OF HOUSTON [US/US]; 4800 Calhoun Road Houston, Texas 77204 (US)
Inventors: NELSON, Keith A.; (US).
MAZNEV, Alexei A.; (US).
SHIN, Hyun Doug; (US).
BENSAOULA, Abdelhak; (US).
GANDHI, Jateen S.; (US).
STOKES, Donna Washington; (US).
FORREST, Rebecca Lynne; (US)
Agent: COLICE, Christopher Max; (US).
TEJA, Joseph, Jr.; (US).
LUO, Yushan; (US).
CHRISTIANSEN II, William T.; (US)
Priority Data:
62/358,219 05.07.2016 US
Title (EN) SYSTEMS AND METHODS FOR QUALITY CONTROL OF A PERIODIC STRUCTURE
(FR) SYSTÈMES ET PROCÉDÉS PERMETTANT LE CONTRÔLE DE LA QUALITÉ D'UNE STRUCTURE PÉRIODIQUE
Abstract: front page image
(EN)Quality control of a periodic structure is performed using the damping rate of acoustic waves generated in the periodic structure. In this technique, an excitation light beam illuminates the first layer in the periodic structure to excite an acoustic wave. Possible irregularities in the periodic structure can scatter the acoustic wave, thereby increasing the damping rate of the acoustic wave. A sequence of probe light beams illuminates the periodic structure to measure the acoustic wave as a function of time to generated a temporal signal representing the damping rate of the acoustic signal. The acquired damping rate is employed to evaluate the quality of the periodic structure.
(FR)Selon l'invention, le contrôle de la qualité d'une structure périodique est effectué en utilisant le taux d'amortissement d'ondes acoustiques générées dans la structure périodique. Dans cette technique, un faisceau lumineux d'excitation éclaire la première couche dans la structure périodique afin d'exciter une onde acoustique. Des irrégularités possibles dans la structure périodique peuvent diffuser l'onde acoustique, en augmentant ainsi le taux d'amortissement de l'onde acoustique. Une séquence de faisceaux lumineux de sonde éclaire la structure périodique pour mesurer l'onde acoustique en fonction du temps pour générer un signal temporel représentant le taux d'amortissement du signal acoustique. Le taux d'amortissement acquis est utilisé pour évaluer la qualité de la structure périodique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)