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1. (WO2018008586) COMPOSITION FOR PLASMA PROCESSING DETECTION AND INDICATOR FOR PLASMA PROCESSING DETECTION
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Pub. No.:    WO/2018/008586    International Application No.:    PCT/JP2017/024314
Publication Date: 11.01.2018 International Filing Date: 03.07.2017
IPC:
G01N 31/22 (2006.01), C09D 11/037 (2014.01), H01L 21/3065 (2006.01)
Applicants: SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION [JP/JP]; 10-17, Nakamichi 1-chome, Higashinari-ku, Osaka-shi, Osaka 5370025 (JP)
Inventors: SAKUMURA Takeshi; (JP)
Priority Data:
2016-134205 06.07.2016 JP
Title (EN) COMPOSITION FOR PLASMA PROCESSING DETECTION AND INDICATOR FOR PLASMA PROCESSING DETECTION
(FR) COMPOSITION ET INDICATEUR PERMETTANT LA DÉTECTION D'UN TRAITEMENT AU PLASMA
(JA) プラズマ処理検知用組成物及びプラズマ処理検知用インジケーター
Abstract: front page image
(EN)[Problem] To provide a composition for plasma processing detection and an indicator for plasma processing detection, which have high sensitivity. [Solution] A composition for plasma processing detection, which contains one or more first dyes selected from the group consisting of azo, anthraquinone, methine and xanthene and a discoloration accelerator that accelerates discoloration of the first dyes in a plasma processing atmosphere. This composition for plasma processing detection is characterized in that: the discoloration accelerator contains one or more compounds represented by a chemical structural formula that comprises a chemical structure wherein two benzene rings are linked by a single bond or a linking group; and the linking group links the two benzene rings by having two or three single bonds connected in series.
(FR)Le problème abordé par la présente invention est de pourvoir à une composition et à un indicateur de sensibilité élevée permettant la détection d'un traitement au plasma. La solution selon l'invention porte sur une composition permettant la détection d'un traitement au plasma, qui contient un ou plusieurs premiers colorants choisis dans le groupe constitué par un colorant azoïque, l'anthraquinone, la méthine et le xanthène, et un accélérateur de décoloration qui accélère la décoloration des premiers colorants dans une atmosphère de traitement au plasma. La composition permettant la détection du traitement au plasma est caractérisée en ce que: l'accélérateur de décoloration contient un ou plusieurs composés représentés par une formule structurale chimique qui comprend une structure chimique où deux cycles benzène sont liés par une liaison simple ou par un groupe de liaison ; le groupe de liaison liant les deux cycles benzène grâce à deux ou trois liaisons simples reliées en série.
(JA)(課題)感度の高いプラズマ処理検知用組成物及びプラズマ処理検知用インジケーターを提供すること。 (解決手段)アゾ、アントラキノン、メチン、及びキサンテンからなる群から選択される1種以上の第1の色素及び該第1の色素をプラズマ処理雰囲気下で変色を促進するための変色促進剤を含有するプラズマ処理検知用組成物であって、前記変色促進剤は、2つのベンゼン環が単結合又は連結基により連結された化学構造を包含する化学構造式により表わされる化合物を1種以上含み、前記連結基は、2つ又は3つの単結合が直列につながることにより2つのベンゼン環を連結することを特徴とする、プラズマ処理検知用組成物。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)