WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2018008533) CLUSTER ION BEAM GENERATION METHOD AND CLUSTER ION BEAM IRRADIATION METHOD USING SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau    Submit observation

Pub. No.:    WO/2018/008533    International Application No.:    PCT/JP2017/024029
Publication Date: 11.01.2018 International Filing Date: 29.06.2017
IPC:
C23C 14/32 (2006.01), H01L 21/20 (2006.01), H01L 21/265 (2006.01), H01L 21/322 (2006.01)
Applicants: SUMCO CORPORATION [JP/JP]; 2-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku Tokyo 1058634 (JP)
Inventors: HIROSE Ryo; (JP)
Agent: SUGIMURA Kenji; (JP)
Priority Data:
2016-133588 05.07.2016 JP
Title (EN) CLUSTER ION BEAM GENERATION METHOD AND CLUSTER ION BEAM IRRADIATION METHOD USING SAME
(FR) PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION DE FAISCEAU D'IONS EN AGRÉGATS ET PROCÉDÉ DE RAYONNEMENT DE FAISCEAU D'IONS EN AGRÉGATS L'UTILISANT
(JA) クラスターイオンビーム生成方法およびそれを用いたクラスターイオンビーム照射方法
Abstract: front page image
(EN)Provided is a cluster ion beam generation method with which it is possible to increase the value of beam current in a cluster ion beam. The cluster beam ion generation method according to the present invention is for generating a cluster ion beam having carbon and hydrogen as constituent elements from a hydrocarbon compound raw material, the method being characterized in that the hydrocarbon compound raw material includes a branched saturated hydrocarbon provided with a side chain, and that the branched saturated hydrocarbon is branched only by a tertiary carbon atom.
(FR)L'invention concerne un procédé de génération de faisceau d'ions en agrégats avec lequel il est possible d'augmenter la valeur du courant de faisceau dans un faisceau d'ions en agrégats. Le procédé de génération de faisceau d'ions en agrégats selon la présente invention est destiné à générer un faisceau d'ions en agrégats contenant du carbone et de l'hydrogène en tant qu'éléments constitutifs à partir d'une matière première de composé hydrocarboné, le procédé étant caractérisé en ce que la matière première de composé hydrocarboné comprend un hydrocarbure saturé ramifié comportant une chaîne latérale, et en ce que l'hydrocarbure saturé ramifié est ramifié uniquement par un atome de carbone tertiaire.
(JA)クラスターイオンビームのビーム電流値を従来よりも増大することのできるクラスターイオンビーム生成方法を提供する。 本発明のクラスターイオンビーム生成方法は、炭化水素系化合物原料から、構成元素に炭素および水素を有するクラスターイオンビームを生成するクラスターイオンビーム生成方法であって、前記炭化水素系化合物原料は、側鎖を備える分岐鎖飽和炭化水素を含み、前記分岐鎖飽和炭化水素は第3級炭素原子によってのみ分岐することを特徴とする。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)