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1. (WO2018008365) LIGHT WASHING TREATMENT DEVICE
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Pub. No.:    WO/2018/008365    International Application No.:    PCT/JP2017/022318
Publication Date: 11.01.2018 International Filing Date: 16.06.2017
IPC:
B29C 33/72 (2006.01), B08B 7/00 (2006.01), B29C 59/02 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Applicants: USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 1-6-5, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1008150 (JP)
Inventors: YOSHIHARA, Keita; (JP).
HIROSE, Kenichi; (JP)
Agent: OHI, Masahiko; (JP)
Priority Data:
2016-135648 08.07.2016 JP
Title (EN) LIGHT WASHING TREATMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT À LA LUMIÈRE
(JA) 光洗浄処理装置
Abstract: front page image
(EN)The purpose of the present invention is to provide a light washing treatment device capable of performing washing treatment on a surface of a template made of quartz glass in a short period of time. A light washing treatment device according to the present invention is a light washing treatment device that performs washing treatment on a surface of a template made of quartz glass used in nanoimprint with ultraviolet rays, the light washing treatment device being characterized by comprising: a treatment chamber forming material that forms a treatment chamber in which the template to be treated is arranged and to which treatment gas is supplied; a housing provided facing the template arranged in the treatment chamber with a gap formed therebetween and having a window member allowing the ultraviolet rays to pass therethrough; a ultraviolet-ray light source arranged in the housing and irradiating the template with the ultraviolet rays via the window member; and a heating means for heating the template.
(FR)Dispositif de traitement de lavage à la lumière pouvant effectuer un traitement de lavage sur une surface d'un gabarit composé de verre de quartz en une courte période de temps. Un dispositif de traitement de lavage à la lumière selon la présente invention est un dispositif de traitement de lavage à la lumière qui effectue un traitement de lavage sur une surface d'un gabarit composé de verre de quartz utilisé en nano-impression avec des rayons ultraviolets, le dispositif de traitement de lavage à la lumière étant caractérisé en ce qu'il comprend : un matériau de formation de chambre de traitement qui forme une chambre de traitement dans laquelle le gabarit à traiter est agencé et dans laquelle est apporté du gaz de traitement; un boîtier disposé en regard du gabarit agencé dans la chambre de traitement avec un espace formé entre eux et ayant un élément de fenêtre permettant aux rayons ultraviolets de passer à travers celui-ci; une source de lumière à rayons ultraviolets disposée dans le boîtier et irradiant le gabarit avec les rayons ultraviolets par l'intermédiaire de l'élément de fenêtre; et un moyen de chauffage pour chauffer le gabarit.
(JA)本発明は、石英ガラスよりなるテンプレートの表面の洗浄処理を短時間で実行することができる光洗浄処理装置を提供することを目的とする。 本発明の光洗浄処理装置は、ナノインプリントに用いられる石英ガラスよりなるテンプレートの表面を紫外線によって洗浄処理する光洗浄処理装置であって、処理対象であるテンプレートが配置され、処理用ガスが供給される処理室を形成する処理室形成材と、前記処理室に配置された前記テンプレートに間隙を介して対向して設けられた、紫外線を透過する窓部材を有する筐体と、前記筐体内に配置された、前記テンプレートに前記窓部材を介して紫外線を照射する紫外線光源と、前記テンプレートを加熱する加熱手段とを備えてなることを特徴とする。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)