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1. (WO2018008343) SUBSTRATE-HOLDER INSPECTION APPARATUS, PLATING APPARATUS INCLUDING THE SAME, AND APPEARANCE INSPECTION APPARATUS
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Pub. No.: WO/2018/008343 International Application No.: PCT/JP2017/022028
Publication Date: 11.01.2018 International Filing Date: 07.06.2017
IPC:
C25D 17/06 (2006.01) ,C25D 21/12 (2006.01) ,G01N 21/84 (2006.01) ,H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: EBARA CORPORATION[JP/JP]; 11-1, Haneda Asahi-cho, Ohta-ku, Tokyo 1448510, JP
Inventors: MUKAIYAMA, Yoshitaka; JP
YOKOYAMA, Toshio; JP
OISHI, Kunio; JP
KIMURA, Masaaki; JP
FUJIKATA, Jumpei; JP
Agent: ONO, Shinjiro; YUASA AND HARA, Section 206, New Ohtemachi Bldg., 2-1, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004, JP
Priority Data:
2016-13245304.07.2016JP
Title (EN) SUBSTRATE-HOLDER INSPECTION APPARATUS, PLATING APPARATUS INCLUDING THE SAME, AND APPEARANCE INSPECTION APPARATUS
(FR) APPAREIL DE CONTRÔLE DE PORTE-SUBSTRAT, APPAREIL DE PLACAGE LE COMPRENANT ET APPAREIL DE CONTRÔLE D'ASPECT
Abstract: front page image
(EN) An inspection apparatus, a plating apparatus, and an appearance inspection apparatus that are capable of automatically inspecting a substrate holder are provided. An inspection apparatus that includes an electric contact configured to contact a substrate to allow current flow to the substrate and a sealing member configured to seal a surface of the substrate and that inspects a substrate holder holding the substrate is provided. The inspection apparatus includes a stocker installation part in which a stocker configured to house the substrate holder is installed, a cleaning device configured to cleanse the substrate holder, a substrate attaching/detaching device configured to open and close the substrate holder, an appearance inspection apparatus configured to acquire image data or shape data of appearance of at least one of the sealing member and the electric contact, and a conveyer configured to convey the substrate holder among the stocker, the cleaning device, and the appearance inspection apparatus.
(FR) L'invention concerne un appareil de contrôle, un appareil de placage et un appareil de contrôle d'aspect qui sont capables de contrôler automatiquement un porte-substrat. L'invention porte sur un appareil de contrôle qui inspecte un porte-substrat maintenant le substrat, ledit appareil de contrôle comprenant un contact électrique conçu pour entrer en contact avec un substrat, afin de permettre la circulation d'un courant vers le substrat, et un élément d'étanchéité conçu pour rendre étanche une surface du substrat. L'appareil de contrôle comprend une partie d'installation de dispositif de stockage dans laquelle est installé un dispositif de stockage conçu pour loger le porte-substrat, un dispositif de nettoyage conçu pour nettoyer le porte-substrat, un dispositif de fixation/détachement de substrat conçu pour ouvrir et fermer le porte-substrat, un appareil de contrôle d'aspect conçu pour acquérir des données d'image ou des données de forme relatives à l'aspect de l'élément d'étanchéité et/ou du contact électrique, et un convoyeur conçu pour convoyer le support de substrat entre le dispositif de stockage, le dispositif de nettoyage et l'appareil de contrôle d'aspect.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)