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1. (WO2018008051) INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD
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Pub. No.: WO/2018/008051 International Application No.: PCT/JP2016/069731
Publication Date: 11.01.2018 International Filing Date: 04.07.2016
Chapter 2 Demand Filed: 17.11.2016
IPC:
G01N 21/88 (2006.01) ,G01N 21/956 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21
Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
84
Systems specially adapted for particular applications
88
Investigating the presence of flaws, defects or contamination
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21
Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
84
Systems specially adapted for particular applications
88
Investigating the presence of flaws, defects or contamination
95
characterised by the material or shape of the object to be examined
956
Inspecting patterns on the surface of objects
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
66
Testing or measuring during manufacture or treatment
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION[JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
Inventors: KANAI Hisaaki; JP
MAKUUCHI Masami; JP
MOHARA Yukihisa; JP
IMAI Eiji; JP
Agent: SEIRYO I.P.C.; 24-2, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032, JP
Priority Data:
Title (EN) INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF D’INSPECTION ET PROCÉDÉ D’INSPECTION
(JA) 検査装置及び検査方法
Abstract:
(EN) To prevent throughput reduction resulting from the provision of an idling period when an internal operation speed of a detection system is switched, a defect inspection device is provided with: a light irradiation unit for irradiating illumination light onto a sample placed on a table unit; a detection optical system for forming an image of light scattered by the sample and detecting the scattered light image using an image sensor; an image processing unit for receiving the signal from the image sensor of the detection optical system that has detected the scattered light image, generating a scattered light image, and detecting a sample defect by processing the generated image; an output unit for outputting the image that has been processed by the image processing unit and includes the defect; and a control unit for controlling the table part, the light irradiation unit, the detection optical system, and the image processing unit. The image processing unit is provided with an image generation unit for receiving the signal from the image sensor and generating a scattered light image, an image correction unit for correcting color unevenness occurring in the scattered light image generated by the image generation unit, and a defect detection unit for detecting a sample defect by processing the image that has had the color unevenness thereof corrected by the image correction unit.
(FR) La présente invention concerne un dispositif d'inspection de défaut qui, pour empêcher une réduction de débit résultant de la survenue d'une période de ralenti lorsqu'une vitesse de fonctionnement interne d'un système de détection est commutée, est doté : d'une unité d'exposition à une lumière pour exposer à une lumière d'éclairage d'un échantillon placé sur une unité table ; d'un système optique de détection destiné à former une image de lumière diffusée par l'échantillon et à détecter l'image de lumière diffusée à l'aide d'un capteur d'image ; d'une unité de traitement d'image pour recevoir le signal provenant du capteur d'image du système optique de détection qui a détecté l'image de lumière diffusée, la génération d'une image de lumière diffusée, et la détection d'un défaut d'échantillon par traitement de l'image générée ; d'une unité de sortie pour sortir l'image qui a été traitée par l'unité de traitement d'image et qui comprend le défaut ; et d'une unité de commande pour commander la partie table, l'unité d'exposition à une lumière, le système optique de détection et l'unité de traitement d'image. L'unité de traitement d'image est pourvue d'une unité de génération d'image pour recevoir le signal provenant du capteur d'image et générer une image de lumière diffusée, d'une unité de correction d'image pour corriger une irrégularité de couleur se produisant dans l'image de lumière diffusée générée par l'unité de génération d'image, et d'une unité de détection de défaut pour détecter un défaut d'échantillon par traitement de l'image dont l'irrégularité de couleur a été corrigée par l'unité de correction d'image.
(JA) 検出システムの内部動作速度の切替時にアイドリング期間を設けることによるスループット低下防止のため、欠陥検査装置を、テーブル部に載置された試料に照明光を照射する光照射部と、試料から発生した散乱光の像を形成して当該散乱光の像をイメージセンサで検出する検出光学系と、散乱光の像を検出した検出光学系のイメージセンサからの信号を受けて散乱光の画像を生成してこの生成した画像を処理して試料の欠陥を検出する画像処理部と、画像処理部で処理した欠陥を含む画像を出力する出力部と、テーブル部と光照射部と検出光学系と画像処理部とを制御する制御部とを備えて構成し、画像処理部は、イメージセンサからの信号を受けて散乱光の画像を生成する画像生成部と、画像生成部で生成した散乱光の画像に発生する色むらを補正する画像補正部と、画像補正部で色むらを補正した画像を処理して試料の欠陥を検出する欠陥検出部とを備えて構成した。
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Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)