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1. (WO2018007126) METHOD AND APPARATUS FOR CALCULATING ELECTROMAGNETIC SCATTERING PROPERTIES OF FINITE PERIODIC STRUCTURES
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Pub. No.:    WO/2018/007126    International Application No.:    PCT/EP2017/064754
Publication Date: 11.01.2018 International Filing Date: 16.06.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven (NL)
Inventors: SETIJA, Irwan, Dani; (NL).
VAN DEN BERG, Petrus, Maria; (NL)
Agent: BROEKEN, Petrus; (NL)
Priority Data:
16178422.8 07.07.2016 EP
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR CALCULATING ELECTROMAGNETIC SCATTERING PROPERTIES OF FINITE PERIODIC STRUCTURES
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR CALCULER LES PROPRIÉTÉS DE DIFFUSION ÉLECTROMAGNÉTIQUE DE STRUCTURES PÉRIODIQUES FINIES
Abstract: front page image
(EN)A method of determining electromagnetic scattering properties of a finite periodic structure has the steps: 1002: Calculating a single-cell contrast current density, within a unit-cell supporting domain of a single one of a finite collection of unit cells. 1004: Calculating a scattered electric field outside the finite collection of unit cells, by integrating, over the single unit cell's supporting domain, a Green's function with the determined single-cell contrast current density. 1006: The Green's function is obtained for observation points outside the finite collection of unit cells by summation across the finite collection of unit cells. The Green's function integrated with the determined single- cell contrast current density is obtained for observation points above the supporting domain with respect to a substrate underlying the finite periodic structure. 1008: Determining an electromagnetic scattering property, for example a diffraction pattern, of the finite periodic structure using the calculated scattered electric field.
(FR)Un procédé de détermination des propriétés de diffusion électromagnétique d'une structure périodique finie comprend les étapes suivantes : 1002 : calculer une densité de courant de contraste de cellule unique, dans un domaine de prise en charge de cellules unitaires d'une cellule unique dans un ensemble fini de cellules unitaires. 1004 : Calculer un champ électrique diffusé, à l'extérieur de l'ensemble fini de cellules unitaires, par intégration, sur le domaine de prise en charge de la cellule unitaire unique, d'une fonction de Green avec la densité de courant de contraste de cellule unique déterminée. 1006 : La fonction de Green est obtenue pour des points d'observation à l'extérieur de l'ensemble fini de cellules unitaires par sommation dans l'ensemble fini de cellules unitaires. La fonction de Green intégrée à la densité de courant à contraste de cellule unique déterminée est obtenue pour des points d'observation au-dessus du domaine de prise en charge par rapport à un substrat sous-jacent à la structure périodique finie. 1008 : Déterminer une propriété de diffusion électromagnétique, par exemple un diagramme de diffraction, de la structure périodique finie à l'aide du champ électrique diffusé calculé.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)