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1. (WO2018005047) METHODS AND SYSTEMS PROVIDING MISALIGNMENT CORRECTION IN ROBOTS
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Pub. No.:    WO/2018/005047    International Application No.:    PCT/US2017/036904
Publication Date: 04.01.2018 International Filing Date: 09.06.2017
IPC:
B25J 9/10 (2006.01), B25J 9/04 (2006.01), B25J 11/00 (2006.01), B25J 17/02 (2006.01), B25J 18/04 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: FREEMAN, Gregory J.; (US).
FREEMAN, Marvin L.; (US).
CRANMER, Adam; (US)
Agent: DUGAN, Brian M.; (US).
DUGAN, Valerie G.; (US).
TOSTADO, Paula; (US).
WILSON, James C.; (US).
GHEORGHIU, Anca; (US).
KWONG, Raymond Kam-on; (US).
DAO, Mimi-Diemmy; (US).
WAYLAND, Randall S.; (US).
CHOI, Changhoon; (US).
FABER, Scott; (US).
HWANG, David; (US).
SANTISI, Steven; (US).
TUMA, Garry; (US).
MIZUMOTO, Edmund; (US).
BALUN, Matthew; (US)
Priority Data:
15/197,039 29.06.2016 US
Title (EN) METHODS AND SYSTEMS PROVIDING MISALIGNMENT CORRECTION IN ROBOTS
(FR) PROCÉDÉS ET SYSTÈMES DE CORRECTION DE DÉSALIGNEMENT DANS DES ROBOTS
Abstract: front page image
(EN)Methods of correcting positional misalignment of blades in robots, such as dual-bladed robots, are described. The methods include, in one or more embodiments, a robot including moveable arms and an end effector attached to one of the moveable arms, a flag disposed on one of the moveable arms or the end effector, a chamber adapted to be serviced by the end effector, a beam sensor positioned at a distance from the chamber, and correcting misalignment of the end effector wherein the misalignment occurs between an initial linear center-finding location and the estimated center of the chamber. Systems of such electronic device calibration are also disclosed. Numerous other aspects are provided.
(FR)L'invention concerne des procédés de correction de désalignement de position de lames dans des robots, tels que des robots à double lame. Les procédés comprennent, selon un ou plusieurs modes de réalisation, un robot comprenant des bras mobiles et un effecteur terminal fixé à l'un des bras mobiles, un signal visuel disposé sur l'un des bras mobiles ou sur l'effecteur terminal, une chambre conçue pour être desservie par l'effecteur terminal, un capteur de faisceau positionné à une certaine distance de la chambre, et pour corriger le désalignement de l'effecteur terminal, le désalignement se produisant entre un emplacement de localisation de centre linéaire initial et le centre estimé de la chambre. L'invention concerne également des systèmes d'étalonnage de ce dispositif électronique. L'invention concerne également de nombreux autres aspects.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)