WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2018004879) SEMICONDUCTOR WORKPIECE TEMPERATURE MEASUREMENT SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau    Submit observation

Pub. No.:    WO/2018/004879    International Application No.:    PCT/US2017/033990
Publication Date: 04.01.2018 International Filing Date: 23.05.2017
IPC:
H01L 21/67 (2006.01), H01L 21/324 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Applicants: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. [US/US]; 35 Dory Road Gloucester, Massachusetts 01930 (US)
Inventors: PETRY, Klaus; (US).
SCHALLER, Jason M.; (US).
MORADIAN, Ala; (US).
EVANS, Morgan D.; (US)
Agent: FRAME, Robert C.; (US).
FRAME, Robert C.; (US).
LEMACK, Kevin S.; (US)
Priority Data:
15/198,701 30.06.2016 US
Title (EN) SEMICONDUCTOR WORKPIECE TEMPERATURE MEASUREMENT SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE MESURE DE TEMPÉRATURE DE PIÈCE DE TRAVAIL À SEMI-CONDUCTEURS
Abstract: front page image
(EN)An improved system and method of measuring the temperature of a workpiece being processed is disclosed. The temperature measurement system determines a temperature of a workpiece by measuring the amount of expansion in the workpiece due to thermal expansion. The amount of expansion may be measured using a number of different techniques. In certain embodiments, a light source and a light sensor are disposed on opposite sides of the workpiece. The total intensity of the signal received by the light sensor may be indicative of the dimension of the workpiece. In another embodiment, an optical micrometer may be used. In another embodiment, a light sensor may be used in conjunction with a separate device that measures the position of the workpiece.
(FR)L’invention concerne un système et un procédé permettant de mesurer la température d’une pièce de travail en train d’être traitée. Le système de mesure de température détermine une température d’une pièce de travail en mesurant la quantité de dilatation dans la pièce de travail, due à la dilatation thermique. La quantité de dilatation peut être mesurée par un certain nombre de techniques différentes. Dans certains modes de réalisation, une source de lumière et un capteur de lumière sont disposés sur des côtés opposés de la pièce de travail. L’intensité totale du signal reçu par le capteur de lumière peut servir à indiquer les dimensions de la pièce de travail. Dans un autre mode de réalisation, un micromètre optique peut être utilisé. Dans un autre mode de réalisation, un capteur de lumière peut être utilisé en même temps qu’un dispositif séparé qui mesure la position de la pièce de travail.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)