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1. (WO2018003183) SAMPLE SURFACE CREATION METHOD, SAMPLE SURFACE ANALYSIS METHOD, PROBE FOR ELECTRIC-FIELD-ASSISTED OXIDATION, AND SCANNING PROBE MICROSCOPE PROVIDED WITH SAME
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Pub. No.:    WO/2018/003183    International Application No.:    PCT/JP2017/008641
Publication Date: 04.01.2018 International Filing Date: 06.03.2017
IPC:
G01N 1/28 (2006.01), G01N 21/956 (2006.01), G01Q 70/14 (2010.01)
Applicants: SUMCO CORPORATION [JP/JP]; 1-2-1 Shibaura, Minato-ku, Tokyo 1058634 (JP)
Inventors: MORI Keiichiro; (JP).
HASHIMOTO Kaori; (JP).
HIDE Chie; (JP)
Agent: SIKS & CO.; 8th Floor, Kyobashi-Nisshoku Bldg., 8-7, Kyobashi 1-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040031 (JP)
Priority Data:
2016-130792 30.06.2016 JP
Title (EN) SAMPLE SURFACE CREATION METHOD, SAMPLE SURFACE ANALYSIS METHOD, PROBE FOR ELECTRIC-FIELD-ASSISTED OXIDATION, AND SCANNING PROBE MICROSCOPE PROVIDED WITH SAME
(FR) PROCÉDÉ DE CRÉATION DE SURFACE D'ÉCHANTILLON, PROCÉDÉ D'ANALYSE DE SURFACE D'ÉCHANTILLON, SONDE DESTINÉE À L'OXYDATION ASSISTÉE PAR CHAMP ÉLECTRIQUE, ET MICROSCOPE À SONDE DE BALAYAGE COMPRENANT LADITE SONDE DESTINÉE À L'OXYDATION ASSISTÉE PAR CHAMP ÉLECTRIQUE
(JA) 試料表面の作製方法、試料表面の分析方法、電界支援酸化用プローブおよびこれを備えた走査型プローブ顕微鏡
Abstract: front page image
(EN)A method for creating a sample surface having a marking formed thereon, wherein the marking is a locally oxidized layer that is formed locally on the sample surface, the locally oxidized layer is formed through the generation of a voltage between a probe and the sample surface in a state where the leading end of the probe is touching the sample surface, and the probe is made to touch the sample surface after the probe is subjected to moisture supply processing.
(FR)L'invention porte sur un procédé de création d'une surface d'échantillon sur laquelle est formé un marquage, le marquage étant une couche oxydée localement qui est formée localement sur la surface d'échantillon. Cette couche localement oxydée est formée par la génération d'une tension entre une sonde et la surface de l'échantillon dans un état où l'extrémité avant de la sonde touche la surface de l'échantillon, et la sonde est amenée à toucher la surface de l'échantillon après que la sonde a été soumise à un traitement d'apport d'humidité.
(JA)マーキングが形成された試料表面の作製方法であって、前記マーキングは、試料表面に局所的に形成された局所酸化膜であり、前記局所酸化膜を、プローブの先端と前記試料表面とを接触させた状態で前記プローブと試料表面との間に電圧を印加することにより形成し、かつ、前記プローブを、水分供給処理を施した後に前記試料表面と接触させる、前記作製方法が提供される。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)