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1. (WO2018002595) MEMS DEVICE AND PROCESS
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Pub. No.:    WO/2018/002595    International Application No.:    PCT/GB2017/051858
Publication Date: 04.01.2018 International Filing Date: 26.06.2017
IPC:
H04R 19/00 (2006.01), B81B 3/00 (2006.01), B81C 1/00 (2006.01), H04R 19/04 (2006.01), H04R 31/00 (2006.01), H04R 7/04 (2006.01)
Applicants: CIRRUS LOGIC INTERNATIONAL SEMICONDUCTOR LIMITED [GB/GB]; 7B Nightingale Way Quartermile Edinburgh Lothian EH3 9EG (GB)
Inventors: JENKINS, Colin Robert; (GB).
CARGILL, Scott Lyall; (GB).
GRAHAM, Clive Robert; (GB)
Agent: COOPER-ROLFE, Elizabeth; (GB)
Priority Data:
1611412.6 30.06.2016 GB
PCT/GB2016/051974 30.06.2016 GB
62/408,955 17.10.2016 US
1619467.2 17.11.2016 GB
1709735.3 19.06.2017 GB
Title (EN) MEMS DEVICE AND PROCESS
(FR) DISPOSITIF MEMS ET PROCÉDÉ
Abstract: front page image
(EN)The present application describes MEMS transducer having a membrane and a membrane electrode. The membrane and membrane electrode form a two-layer structure. The membrane electrode is in the form of a lattice of conductive material. The pitch of the lattice and/or the size of the openings varies from a central region of the membrane electrode to a region laterally outside the central region.
(FR)La présente invention concerne un transducteur MEMS ayant une membrane et une électrode à membrane. La membrane et l'électrode à membrane forment une structure à deux couches. L'électrode à membrane se présente sous la forme d'un réseau de matériau conducteur. Le pas du réseau et/ou la taille des ouvertures varie d'une région centrale de l'électrode à membrane à une région située latéralement à l'extérieur de la région centrale.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)