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1. (WO2018002440) MICROMECHANICAL RESONATOR AND METHOD FOR TRIMMING MICROMECHANICAL RESONATOR
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Pub. No.:    WO/2018/002440    International Application No.:    PCT/FI2017/050487
Publication Date: 04.01.2018 International Filing Date: 29.06.2017
IPC:
H03H 9/02 (2006.01), H03H 9/24 (2006.01), H03H 3/007 (2006.01)
Applicants: TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY [FI/FI]; Vuorimiehentie 3 02150 Espoo (FI)
Inventors: JAAKKOLA, Antti; (FI).
PENSALA, Tuomas; (FI).
OJA, Aarne; (FI).
PEKKO, Panu; (FI).
DEKKER, James R; (FI)
Agent: KOLSTER OY AB; (Salmisaarenaukio 1) P.O.Box 204 00181 Helsinki (FI)
Priority Data:
20165556 01.07.2016 FI
Title (EN) MICROMECHANICAL RESONATOR AND METHOD FOR TRIMMING MICROMECHANICAL RESONATOR
(FR) RÉSONATEUR MICROMÉCANIQUE ET PROCÉDÉ D'AJUSTAGE DE RÉSONATEUR MICROMÉCANIQUE
Abstract: front page image
(EN)The present disclosure describes micromechanical resonator, a resonator element for the resonator, and a method for trimming the resonator. The resonator comprises a resonator element having a length, a width, and a thickness, where the length and the width define a plane of the resonator element. The resonator element comprises at least two regions (52, 53) in the plane of the resonator element, wherein the at least two regions have different thicknesses.
(FR)La présente invention concerne un résonateur micromécanique, un élément résonateur pour le résonateur, et un procédé d'ajustage du résonateur. Le résonateur comprend un élément résonateur ayant une longueur, une largeur et une épaisseur, la longueur et la largeur définissant un plan de l'élément résonateur. L'élément résonateur comprend au moins deux régions (52, 53) dans le plan de l'élément résonateur, lesdites deux régions ayant des épaisseurs différentes.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)