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1. (WO2018001523) DEPOSITION APPARATUS FOR COATING A FLEXIBLE SUBSTRATE AND METHOD OF COATING A FLEXIBLE SUBSTRATE
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Pub. No.:    WO/2018/001523    International Application No.:    PCT/EP2016/065558
Publication Date: 04.01.2018 International Filing Date: 01.07.2016
IPC:
C23C 14/08 (2006.01), C23C 14/10 (2006.01), C23C 14/34 (2006.01), C23C 14/56 (2006.01), B08B 7/00 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US).
DEPPISCH, Thomas [DE/DE]; (DE) (US only).
HEIN, Stefan [DE/DE]; (DE) (US only).
MORRISON, Neil [GB/DE]; (DE) (US only).
KUKLA, Reiner [DE/DE]; (DE) (US only).
KURTHEN, Christof [DE/DE]; (DE) (US only).
SCHLÄFER, Susanne [DE/DE]; (DE) (US only).
LORENZ, Stefan [DE/DE]; (DE) (US only).
WAGNER, Dirk [DE/DE]; (DE) (US only).
METT, Valerius [DE/DE]; (DE) (US only).
HACKER, Volker [DE/DE]; (DE) (US only).
HERMANNS, Uwe [DE/DE]; (DE) (US only).
STICKSEL-WEIS, Björn [DE/DE]; (DE) (US only).
WENDENMUTH, Walter [DE/DE]; (DE) (US only).
ULRICH, Jürgen [DE/DE]; (DE) (US only)
Inventors: DEPPISCH, Thomas; (DE).
HEIN, Stefan; (DE).
MORRISON, Neil; (DE).
KUKLA, Reiner; (DE).
KURTHEN, Christof; (DE).
SCHLÄFER, Susanne; (DE).
LORENZ, Stefan; (DE).
WAGNER, Dirk; (DE).
METT, Valerius; (DE).
HACKER, Volker; (DE).
HERMANNS, Uwe; (DE).
STICKSEL-WEIS, Björn; (DE).
WENDENMUTH, Walter; (DE).
ULRICH, Jürgen; (DE)
Agent: ZIMMERMANN & PARTNER PATENTANWÄLTE MBB; Josephspitalstr. 15 80331 München (DE)
Priority Data:
Title (EN) DEPOSITION APPARATUS FOR COATING A FLEXIBLE SUBSTRATE AND METHOD OF COATING A FLEXIBLE SUBSTRATE
(FR) APPAREIL DE DÉPÔT POUR REVÊTIR UN SUBSTRAT FLEXIBLE ET PROCÉDÉ DE REVÊTEMENT D’UN SUBSTRAT FLEXIBLE
Abstract: front page image
(EN)A deposition apparatus (100) for coating a flexible substrate (10) with a stack of layers is described. The deposition apparatus comprises: a first spool chamber (110) configured for housing a storage spool for providing the flexible substrate; a first deposition chamber (120) arranged downstream from the first spool chamber and comprising a first coating drum (122) configured for guiding the flexible substrate past a first plurality of deposition units (121); a second deposition chamber (140) arranged downstream from the first deposition chamber (120) and comprising a second coating drum (142) configured for guiding the flexible substrate past a second plurality of deposition units (141); a second spool chamber arranged downstream from the second deposition chamber (140) and configured for housing a wind-up spool for winding the flexible substrate thereon after deposition; and a roller assembly configured to transport the flexible substrate (10) along a partially convex and partially concave substrate transportation path from the first spool chamber to the second spool chamber. Further, a method of coating a flexible substrate, particularly with the described deposition apparatus, is described.
(FR)La présente invention concerne un appareil de dépôt (100) pour revêtir un substrat souple (10) avec un empilement de couches. L’appareil de dépôt comprend : une première chambre de bobine (110) configurée pour loger une bobine de stockage pour fournir le substrat flexible ; une première chambre de dépôt (120) agencée en aval de la première chambre de bobine et comprenant un premier cylindre de revêtement (122) configuré pour guider le substrat flexible devant une première pluralité d’unités de dépôt (121) ; une deuxième chambre de dépôt (140) agencée en aval de la première chambre de dépôt (120) et comprenant un deuxième cylindre de revêtement (142) configuré pour guider le substrat flexible devant une deuxième pluralité d’unités de dépôt (141) ; une deuxième chambre de bobine agencée en aval de la deuxième chambre de dépôt (140) et configurée pour recevoir une bobine d’enroulement pour enrouler le substrat flexible sur celle-ci après le dépôt ; et un ensemble de rouleaux configuré pour transporter le substrat flexible (10) le long d’un trajet de transport de substrat partiellement convexe et partiellement concave de la première chambre de bobine à la deuxième chambre de bobine. L’invention concerne en outre un procédé de revêtement d’un substrat flexible, en particulier avec l’appareil de dépôt de l’invention.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)