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1. (WO2018000942) METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING CYLINDRICAL SURFACES AND CYLINDRICAL CONVERGING LENSES
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Pub. No.: WO/2018/000942 International Application No.: PCT/CN2017/083633
Publication Date: 04.01.2018 International Filing Date: 09.05.2017
IPC:
G01B 11/24 (2006.01)
Applicants: ZHANGJIAGANG INSTITUTE OF INDUSTRIAL TECHNOLOGIES,SOOCHOW UNIVERSITY[CN/CN]; No.10 Changjing Road, Zhangjiagang Suzhou, Jiangsu 215600, CN
Inventors: GUO, Peiji; CN
CHEN, Xi; CN
FAN, Jianbin; CN
Agent: WUXI HUICHENGYONGXIN PATENT FIRM( GENERAL PARTNERSHIP); Room 1506, Block C, Rongzhi Mansion, No. 4, Longshan Road Wuxi City, Jiangsu 214000, CN
YE, Yong; CN
WANG, Libin; CN
Priority Data:
201610504450.301.07.2016CN
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING CYLINDRICAL SURFACES AND CYLINDRICAL CONVERGING LENSES
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL SERVANT À DÉTECTER DES SURFACES CYLINDRIQUES ET DES LENTILLES CONVERGENTES CYLINDRIQUES
(ZH) 一种柱面及柱面汇聚镜的检测方法及装置
Abstract: front page image
(EN) The present invention relates to the technical field of optical instrument detection, in particular to a method for detecting shapes of cylindrical surfaces in a non-contact interference manner. Disclosed are a method and apparatus for detecting cylindrical surfaces and cylindrical converging lenses. Two converging lenses (3,4) which can modulate parallel light into cylindrical light waves are respectively used in combination with a cylindrical surface to be tested; combined wave surface error data of the converging lenses (3,4) and the cylindrical surface to be tested are obtained by means of testing; the two cylindrical converging lenses (3,4) are combined, so that the combined wave surface error data of the two cylindrical converging lenses (3,4) are obtained; and surface shape error data of a cylindrical surface (1) to be tested and the two cylindrical converging lenses (3,4) are obtained respectively by using a difference algorithm and a wave surface restoration algorithm. According to the present invention, the detection light path is simple, and high-precision surface shape detection of the cylindrical surface is made possible without using high-precision and high-measurement performance gauges. The method and apparatus are especially applicable to cylindrical surface processing in the optical processing field.
(FR) La présente invention a trait au domaine technique de la détection d'instruments optiques et concerne en particulier un procédé de détection de formes de surfaces cylindriques selon une technique d'interférence sans contact. L'invention concerne en particulier un procédé et un appareil servant à détecter des surfaces cylindriques et des lentilles convergentes cylindriques. Deux lentilles convergentes (3,4) pouvant moduler de la lumière parallèle en ondes lumineuses cylindriques sont utilisées respectivement en combinaison avec une surface cylindrique à tester; des données d'erreur de surface d'onde combinée des lentilles convergentes (3,4) et de la surface cylindrique à tester sont obtenues au moyen d'un test; les deux lentilles convergentes cylindriques (3,4) sont combinées, de sorte à fournir les données d'erreur de surface d'onde combinée des deux lentilles convergentes cylindriques (3,4); et des données d'erreur de forme de surface d'une surface cylindrique (1) à tester et des deux lentilles convergentes cylindriques (3,4) sont obtenues respectivement au moyen d'un algorithme de différences et d'un algorithme de restauration de surface d'onde. Selon l'invention, le trajet de lumière de détection est simple et l'on obtient une détection de forme de surface de haute précision de la surface cylindrique sans avoir à utiliser de calibres à performances de précision et de mesure élevées. Le procédé et l'appareil selon l'invention peuvent être appliqués en particulier au traitement de surfaces cylindriques dans le domaine du traitement optique.
(ZH) 一种柱面及柱面汇聚镜的检测方法及装置,涉及光学仪器检测技术领域,特别是涉及一种非接触式干涉检测柱面面形的方法,使用两块能将平行光调制成柱面光波的汇聚镜(3,4)分别与待测柱面(1)组合,测试获得带有汇聚镜(3,4)和待测柱面(1)的组合波面误差数据,然后将两块柱面汇聚镜(3,4)组合,获得两块柱面汇聚镜(3,4)的组合波面误差数据,使用差分算法以及波面复原算法分别获得待测柱面(1)以及两个柱面汇聚镜(3,4)的面形误差数据,具有检测光路简单,不需要使用高精度的测量好的检具即可实现对柱面较高精度的面形检测,特别适合光学加工领域中的柱面加工。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)