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1. (WO2017209169) MAGNETIC SENSOR
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Pub. No.: WO/2017/209169 International Application No.: PCT/JP2017/020202
Publication Date: 07.12.2017 International Filing Date: 31.05.2017
IPC:
G01R 33/02 (2006.01) ,G01R 33/09 (2006.01) ,H01L 43/08 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
R
MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33
Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
02
Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
R
MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33
Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
02
Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
06
using galvano-magnetic devices
09
Magneto-resistive devices
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
43
Devices using galvano-magnetic or similar magnetic effects; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof
08
Magnetic-field-controlled resistors
Applicants:
株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP/JP]; 京都府長岡京市東神足1丁目10番1号 10-1, Higashikotari 1-chome, Nagaokakyo-shi, Kyoto 6178555, JP
Inventors:
岡部 修二 OKABE, Syuji; JP
堤 弘毅 TSUTSUMI, Hiroki; JP
Agent:
特許業務法人深見特許事務所 FUKAMI PATENT OFFICE, P.C.; 大阪府大阪市北区中之島三丁目2番4号 中之島フェスティバルタワー・ウエスト Nakanoshima Festival Tower West, 2-4, Nakanoshima 3-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300005, JP
Priority Data:
2016-10869431.05.2016JP
Title (EN) MAGNETIC SENSOR
(FR) CAPTEUR MAGNÉTIQUE
(JA) 磁気センサ
Abstract:
(EN) A magnetic sensor provided with: first magnetic resistance elements (120a, 120b); second magnetic resistance elements (130a, 130b); an insulation layer (30); and, among a first magnetic member (40) and a second magnetic member (50) located on the insulation layer (30), at least the first magnetic member (40). The first magnetic resistance elements (120a, 120b) have, among an outer peripheral edge and an inner peripheral edge, at least the outer peripheral edge. The first magnetic member (40), when viewed from a direction orthogonal to the insulation layer (30), is located medial to the outer peripheral edge of the first magnetic resistance elements (120a, 120b). The second magnetic resistance elements (130a, 130b), when viewed from a direction orthogonal to the insulation layer (30), are located medial to the first magnetic resistance elements (120a, 120b) and covered by the first magnetic member (40), or are located lateral to the first magnetic resistance elements (120a, 120b) and covered by the second magnetic member (50).
(FR) La présente invention concerne un capteur magnétique pourvu de : premiers éléments de résistance magnétique (120a, 120b) ; deuxièmes éléments de résistance magnétique (130a, 130b) ; une couche d'isolation (30) ; et, parmi un premier élément magnétique (40) et un deuxième élément magnétique (50) situé sur la couche isolante (30), au moins le premier élément magnétique (40). Les premiers éléments de résistance magnétique (120a, 120b) comportent, parmi un bord périphérique externe et un bord périphérique interne, au moins le bord périphérique externe. Le premier élément magnétique (40), observé depuis une direction orthogonale à la couche d'isolation (30), est situé en position médiane par rapport au bord périphérique externe des premiers éléments de résistance magnétique (120a, 120b). Les deuxièmes éléments de résistance magnétique (130a, 130b), observés depuis une direction orthogonale à la couche d'isolation (30), sont situés en position médiane par rapport aux premiers éléments de résistance magnétique (120a, 120b) et recouverts par le premier élément magnétique (40), ou sont situés en position latérale par rapport aux premiers éléments de résistance magnétique (120a, 120b) et recouverts par le deuxième élément magnétique (50).
(JA) 磁気センサは、第1磁気抵抗素子(120a,120b)と、第2磁気抵抗素子(130a,130b)と、絶縁層(30)と、絶縁層(30)上に位置する、第1磁性体部材(40)および第2磁性体部材(50)のうちの少なくとも第1磁性体部材(40)とを備える。第1磁気抵抗素子(120a,120b)は、外周縁および内周縁のうちの少なくとも外周縁を有する。第1磁性体部材(40)は、絶縁層(30)に直交する方向から見て、第1磁気抵抗素子(120a,120b)の外周縁より内側の領域に位置している。第2磁気抵抗素子(130a,130b)は、絶縁層(30)に直交する方向から見て、第1磁気抵抗素子(120a,120b)の内周縁より内側の領域に位置して第1磁性体部材(40)で覆われている、または、第1磁気抵抗素子(120a,120b)の外周縁より外側の領域に位置して第2磁性体部材(50)で覆われている。
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Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)