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Pub. No.:    WO/2017/205708    International Application No.:    PCT/US2017/034609
Publication Date: 30.11.2017 International Filing Date: 26.05.2017
H01L 21/673 (2006.01)
Applicants: ENTEGRIS, INC. [US/US]; 129 Concord Road Billerica, Massachusetts 01821 (US)
Inventors: RASCHKE, Russ V.; (US).
STEFFENS, Jason T.; (US)
Agent: SZYMANSKI, Brian E.; (US)
Priority Data:
62/341,996 26.05.2016 US
Abstract: front page image
(EN)A substrate container that utilizes a rocker linkage or a linear cam arrangement in latch mechanism that is actuated by a rotary cam. The rocker linkage or linear cam is mounted to an interior panel of a door of the substrate container and may be disposed proximate an edge portion of the interior panel. The rocker linkage or linear cam may be configured to exert an axial force component on a housing of the substrate container to seat the door against a seal member. The rocker linkage or linear cam also transfers the axial latching forces to the door to reduce transfer of forces to the cam. The rocker linkage or linear cam may be arranged to transfer axial forces in a radially outward direction when the latch mechanism is engaged, to prevent push back on the rotary cam.
(FR)La présente invention porte sur un récipient de substrat qui utilise une liaison à bascule ou un agencement de came linéaire dans un mécanisme de verrouillage qui est actionné par une came rotative. La liaison à bascule ou la came linéaire est montée sur un panneau intérieur d'une porte du récipient de substrat et peut être disposée à proximité d'une partie de bord du panneau intérieur. La liaison à bascule ou la came linéaire peut être configurée de sorte à exercer une composante de force axiale sur un boîtier du récipient de substrat pour placer la porte contre un élément d'étanchéité. La liaison à bascule ou la came linéaire transfère également les forces de verrouillage axiales à la porte afin de réduire le transfert des forces à la came. La liaison à bascule ou la came linéaire peut être agencée de sorte à transférer des forces axiales dans une direction radialement vers l'extérieur lorsque le mécanisme de verrouillage est mis en prise, pour empêcher un retour sur la came rotative.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)