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1. (WO2017205528) NON-CONTACT TEMPERATURE MEASUREMENT BY DUAL-WAVELENGTH SHIFT IN BREWSTER'S ANGLE
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Pub. No.: WO/2017/205528 International Application No.: PCT/US2017/034306
Publication Date: 30.11.2017 International Filing Date: 24.05.2017
IPC:
G01J 5/08 (2006.01) ,G01J 3/10 (2006.01) ,G01J 3/28 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.[US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventors: MOFFITT, Theodore; US
APURVA, Naman; IN
Agent: PATTERSON, B. Todd; US
TACKETT, Keith M.; US
Priority Data:
62/341,06924.05.2016US
Title (EN) NON-CONTACT TEMPERATURE MEASUREMENT BY DUAL-WAVELENGTH SHIFT IN BREWSTER'S ANGLE
(FR) MESURE DE TEMPÉRATURE SANS CONTACT PAR DÉCALAGE DE DOUBLE LONGUEUR D'ONDE DANS L'ANGLE DE BREWSTER
Abstract: front page image
(EN) Embodiments disclosed herein relate to a thermal processing chamber having a substrate monitoring system. In one embodiment, a temperature monitoring system is disclosed herein. The temperature monitoring system includes a housing and a window defining an interior volume. The temperature monitoring system further includes two or more light sources, a camera, and a polarizer. The two or more light sources are disposed in the interior volume, beneath the window. A first light source of the two or more light sources has a first wavelength. A second light source of the two or more light sources has a second wavelength. A camera is disposed opposite the two or more light sources. The camera is configured to capture a plurality of frames of two or more light beams from the two or more light sources. The polarizer disposed in an optical path of the two or more light beams.
(FR) Des modes de réalisation de la présente invention concernent une chambre de traitement thermique présentant un système de surveillance de substrat. Dans un mode de réalisation, l'invention concerne un système de surveillance de température. Le système de surveillance de température comprend un boîtier et une fenêtre définissant un volume intérieur. Le système de surveillance de la température comprend en outre au moins deux sources de lumière, un appareil de prise de vues et un polariseur. Au moins les deux sources de lumière sont placées dans le volume intérieur, sous la fenêtre. Une première source de lumière parmi au moins les deux sources de lumière présente une première longueur d'onde. Une deuxième source de lumière parmi au moins les deux sources de lumière présente une deuxième longueur d'onde. Un appareil de prise de vues est placé à l'opposé d'au moins les deux sources de lumière. L'appareil de prise de vues est conçu pour capturer une pluralité de trames d'au moins les deux faisceaux de lumière provenant au moins des deux sources de lumière. Le polariseur est placé dans un chemin optique au moins des deux faisceaux lumineux.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)