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1. (WO2017204113) PULSED LIGHT GENERATION DEVICE, PULSED LIGHT GENERATION METHOD, EXPOSURE DEVICE COMPRISING PULSED LIGHT GENERATION DEVICE, AND INSPECTION DEVICE
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Pub. No.:    WO/2017/204113    International Application No.:    PCT/JP2017/018853
Publication Date: 30.11.2017 International Filing Date: 19.05.2017
IPC:
G02F 1/01 (2006.01), G01N 21/956 (2006.01), G02F 1/37 (2006.01), G03F 1/84 (2012.01), G03F 7/20 (2006.01), H01S 3/00 (2006.01), H01S 3/10 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 15-3, Konan 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1086290 (JP)
Inventors: TOKUHISA, Akira; (JP)
Agent: NAGAI, Fuyuki; (JP).
WATANABE, Takao; (JP)
Priority Data:
2016-105613 26.05.2016 JP
Title (EN) PULSED LIGHT GENERATION DEVICE, PULSED LIGHT GENERATION METHOD, EXPOSURE DEVICE COMPRISING PULSED LIGHT GENERATION DEVICE, AND INSPECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE PULSÉE, PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE PULSÉE, DISPOSITIF D'EXPOSITION COMPRENANT LE DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE PULSÉE ET DISPOSITIF D'INSPECTION
(JA) パルス光生成装置、パルス光生成方法、パルス光生成装置を備えた露光装置および検査装置
Abstract: front page image
(EN)[Problem] To be capable of generating two types of pulsed light having mutually different temporal intensity waveforms, by using a simple configuration. [Solution] A pulsed light generation device comprising: an optical coupler comprising at least four I/O ports including a first port, a second port, a third port, and a fourth port; a connecting optical path that connects the third port and the fourth port; and a phase modulation element arranged in the connecting optical path. The optical coupler branches the input pulsed light input to the first port and outputs same as first direction pulsed light and second direction pulsed light to the third and fourth ports, respectively. The phase modulation element outputs output pulsed light having mutually different waveforms, from the first and second ports respectively, by applying phase modulation to at least either the first direction pulsed light or the second direction pulsed light.
(FR)Le problème décrit par la présente invention est de pouvoir générer deux types de lumière pulsée ayant des formes d'onde d'intensité temporelle mutuellement différentes, à l'aide d'une configuration simple. La solution selon l'invention porte sur un dispositif de génération de lumière pulsée qui comprend : un coupleur optique comprenant au moins quatre ports E/S dont un premier port, un deuxième port, un troisième port, et un quatrième port ; un chemin optique de connexion qui connecte le troisième port et le quatrième port ; et un élément de modulation de phase disposé sur le chemin optique de connexion. Le coupleur optique branche l'entrée de lumière pulsée d'entrée au premier port et l'émet sous forme de lumière pulsée de première direction et de lumière pulsée de deuxième direction aux troisième et quatrième ports, respectivement. L'élément de modulation de phase émet une lumière pulsée de sortie ayant des formes d'onde mutuellement différentes, respectivement à partir des premier et deuxième ports, en appliquant une modulation de phase à au moins la lumière pulsée de première direction ou la lumière pulsée de seconde direction.
(JA)【課題】簡易な構成により時間強度波形が互いに異なる二種類のパルス光を生成できる。 【解決手段】パルス光生成装置は、第1ポート、第2ポート、第3ポートおよび第4ポートの少なくとも4個の入出力ポートを備えた光カプラと、前記第3ポートと前記第4ポートとを接続する接続光路と、前記接続光路に配置された位相変調素子と、を備え、前記光カプラは、前記第1ポートに入力された入力パルス光を分岐して、前記第3ポートおよび前記第4ポートにそれぞれ第1方向パルス光および第2方向パルス光として出力し、前記位相変調素子は、前記第1方向パルス光および前記第2方向パルス光の少なくとも一方に対して位相変調を与えることにより、前記第1ポートおよび前記第2ポートのそれぞれから、互いに異なる波形の出力パルス光を出力する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)