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1. (WO2017203949) FABRY-PEROT INTERFERENCE FILTER AND PRODUCTION METHOD FOR FABRY-PEROT INTERFERENCE FILTER
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Pub. No.:    WO/2017/203949    International Application No.:    PCT/JP2017/017172
Publication Date: 30.11.2017 International Filing Date: 01.05.2017
IPC:
G02B 26/00 (2006.01), B81B 3/00 (2006.01), B81C 1/00 (2006.01)
Applicants: HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP/JP]; 1126-1, Ichino-cho, Higashi-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 4358558 (JP)
Inventors: KASAHARA Takashi; (JP).
SHIBAYAMA Katsumi; (JP).
HIROSE Masaki; (JP).
KAWAI Toshimitsu; (JP).
OYAMA Hiroki; (JP).
TERAMACHI Yumi; (JP)
Agent: HASEGAWA Yoshiki; (JP).
KUROKI Yoshiki; (JP).
SHIBAYAMA Kenichi; (JP)
Priority Data:
2016-106269 27.05.2016 JP
Title (EN) FABRY-PEROT INTERFERENCE FILTER AND PRODUCTION METHOD FOR FABRY-PEROT INTERFERENCE FILTER
(FR) FILTRE D'INTERFÉRENCE DE FABRY-PEROT ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE FILTRE D'INTERFÉRENCE DE FABRY-PEROT
(JA) ファブリペロー干渉フィルタ、及びファブリペロー干渉フィルタの製造方法
Abstract: front page image
(EN)A Fabry-Perot interference filter 1 that comprises: a substrate 11 that has a first surface 11a; a first laminate 22 that is arranged on the first surface 11a and has a first mirror part 31; a second laminate 24 that has a second mirror part 32 that faces the first mirror part 31 across a space S; and an intermediate layer 23 that demarcates the space S between the first laminate 22 and the second laminate 24. The substrate 11 has an outer edge part 11c that, seen from a direction that is orthogonal to the first surface 11a, is positioned further to the outside than an outer edge of the intermediate layer 23. The second laminate 24 also has: a covering part 33 that covers the intermediate layer 23; and a peripheral edge part 34 that is positioned upon the first surface 11a at the outer edge part 11c. The second mirror part 32, the covering part 33, and the peripheral edge part 34 are integrally formed so as to be continuous. The peripheral edge part 34 is thinned along an outer edge of the outer edge part 11c.
(FR)L'invention porte sur un filtre d'interférence de Fabry-Perot (1) qui comprend : un substrat (11) qui a une première surface (11a) ; un premier stratifié (22) qui est disposé sur la première surface (11a) et a une première partie de miroir (31) ; un second stratifié (24) qui a une seconde partie de miroir (32) qui fait face à la première partie de miroir (31) à travers un espace (S) ; et une couche intermédiaire (23) qui délimite l'espace (S) entre le premier stratifié (22) et le second stratifié (24). Le substrat (11) présente une partie de bord externe (11c) qui, vue depuis une direction orthogonale à la première surface (11a), est positionnée plus loin vers l'extérieur qu'un bord externe de la couche intermédiaire (23). Le second stratifié (24) comprend également : une partie de recouvrement (33) qui recouvre la couche intermédiaire (23) ; et une partie de bord périphérique (34) qui est positionnée sur la première surface (11a) au niveau de la partie de bord externe (11c). La seconde partie de miroir (32), la partie de recouvrement (33) et la partie de bord périphérique (34) sont formées d'un seul tenant de manière à être continues. La partie de bord périphérique (34) est amincie le long d'un bord externe de la partie de bord externe (11c).
(JA)ファブリペロー干渉フィルタ1は、第1表面11aを有する基板11と、第1表面11aに配置された第1ミラー部31を有する第1積層体22と、空隙Sを介して第1ミラー部31と対向する第2ミラー部32を有する第2積層体24と、第1積層体22と第2積層体24との間において空隙Sを画定する中間層23と、を備える。基板11は、第1表面11aに垂直な方向から見た場合に中間層23の外縁よりも外側に位置する外縁部11cを有する。第2積層体24は、中間層23を被覆する被覆部33と、外縁部11cにおける第1表面11a上に位置する周縁部34と、を更に有する。第2ミラー部32、被覆部33及び周縁部34は、互いに連続するように一体的に形成されている。周縁部34は、外縁部11cの外縁に沿って薄化されている。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)