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1. (WO2017203791) LASER-DRIVEN LIGHT SOURCE DEVICE
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Pub. No.:    WO/2017/203791    International Application No.:    PCT/JP2017/008457
Publication Date: 30.11.2017 International Filing Date: 03.03.2017
IPC:
H01J 65/04 (2006.01)
Applicants: USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 1-6-5, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1008150 (JP)
Inventors: SUMITOMO Taku; (JP).
YOKOTA Toshio; (JP).
KITAGAWA Tetsuya; (JP).
YAMASAKI Yu; (JP)
Agent: ISOHATA Masao; (JP)
Priority Data:
2016-103203 24.05.2016 JP
2017-018220 03.02.2017 JP
Title (EN) LASER-DRIVEN LIGHT SOURCE DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SOURCE DE LUMIÈRE EXCITÉ PAR LASER
(JA) レーザ駆動光源装置
Abstract: front page image
(EN)In this laser-driven light source device (1) a pulsed laser light (3L) is condensed and irradiated into a plasma container (2) having a light-emitting medium enclosed therein to generate a pre-discharge, and a CW laser light (4L) is condensed and irradiated onto the plasma generated by the pre-discharge, thereby generating and maintaining the plasma inside the plasma container (2). The laser-driven light source device (1) is provided with a structure wherein, when the plasma (spark) generated by the pulsed laser light (3L) is generated/maintained by the CW laser light (4L), the spark is not extinguished by the pulsed laser light (3L). The laser-driven light source device is characterized in that, inside the plasma container (2), a light-condensing point (3a) position for the pulsed laser light (3L) and a light-condensing point (4a) position for the CW laser light (4L) are separated in such a manner that the pulsed laser light (3L) does not hit the plasma present at the light-condensing point (4a) position for the CW laser light (4L).
(FR)La présente invention concerne un dispositif de source de lumière excité par laser (1) dans lequel une lumière laser pulsée (3L) est condensée et irradiée dans un récipient à plasma (2) contenant un milieu d’émission de lumière pour générer une pré-décharge, et une lumière laser à onde entretenue (CW) (4L) est condensée et irradiée sur le plasma généré par la pré-décharge, de façon à générer et maintenir le plasma à l'intérieur du récipient à plasma (2). Le dispositif de source de lumière excité par laser (1) est pourvu d'une structure dans laquelle, lorsque le plasma (étincelle) généré par la lumière laser pulsée (3L) est généré/maintenu par la lumière laser CW (4L), l'étincelle n'est pas éteinte par la lumière laser pulsée (3L). Le dispositif de source de lumière excité par laser est caractérisé en ce que, à l'intérieur du récipient à plasma (2), une position de point de condensation de lumière (3a) pour la lumière laser pulsée (3L) et une position de point de condensation de lumière (4a) pour la lumière laser CW (4L) sont séparées de telle manière que la lumière laser pulsée (3L) n’atteigne pas le plasma présent à la position de point de condensation de lumière (4a) pour la lumière laser CW (4L).
(JA)発光媒体が封入されたプラズマ容器(2)内にパルスレーザ光(3L)を集光照射して予備放電を生成し、該予備放電によって生成されたプラズマにCWレーザ光(4L)を集光照射することによってプラズマ容器(2)内にプラズマを生成・維持するレーザ駆動光源装置(1)において、パルスレーザ光(3L)によって生成されたプラズマ(火種)をCWレーザ光(4L)によって生成・維持する際に、前記パルスレーザ光(3L)によって該火種が消滅することのないようにした構造を提供しようとするものである。前記プラズマ容器(2)内でのパルスレーザ光(3L)の集光点(3a)位置と、CWレーザ光(4L)の集光点(4a)位置とを離隔して、パルスレーザ光(3L)がCWレーザ光(4L)の集光点(4a)位置にあるプラズマに当たらないようにしたことを特徴とする。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)