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1. (WO2017202114) METHOD AND APPARATUS FOR DETERMINING ILLUMINATION INTENSITY FOR INSPECTION, AND OPTICAL INSPECTION METHOD AND APPARATUS
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Pub. No.:    WO/2017/202114    International Application No.:    PCT/CN2017/076916
Publication Date: 30.11.2017 International Filing Date: 16.03.2017
IPC:
H04N 5/232 (2006.01), H04N 5/262 (2006.01)
Applicants: BOE TECHNOLOGY GROUP CO., LTD. [CN/CN]; No.10 Jiuxianqiao Rd. Chaoyang District Beijing 100015 (CN).
CHONGQING BOE OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD. [CN/CN]; No.5-12 Yunhan RD Shuitu Hi-Tech Industrial Zone Beibei District Chongqing 400714 (CN)
Inventors: WANG, Xu; (CN).
LIU, Chaoqiang; (CN).
XI, Zhengdong; (CN).
LIU, Yang; (CN)
Agent: ZHONGZI LAW OFFICE; 7F, New Era Building, 26 Pinganli Xidajie Xicheng District Beijing 100034 (CN)
Priority Data:
201610342920.0 23.05.2016 CN
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR DETERMINING ILLUMINATION INTENSITY FOR INSPECTION, AND OPTICAL INSPECTION METHOD AND APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE DÉTERMINATION D'INTENSITÉ D'ÉCLAIRAGE POUR UNE INSPECTION, ET PROCÉDÉ ET APPAREIL D'INSPECTION OPTIQUE
(ZH) 确定用于检测的光照强度的方法和装置、及光学检测方法和装置
Abstract: front page image
(EN)A method and an apparatus for determining the illumination intensity for inspection, and an optical inspection method and apparatus. The method for determining the illumination intensity for inspection comprises: obtaining images of a sample to be inspected and photographed by each of at least one imaging component under multiple illumination intensities (41); for each imaging component, calculating the gray standard deviation of each of the images obtained under multiple illumination intensities (42); and determining, according to the gray standard deviation, the illumination intensity for inspection of each imaging component (43). The illumination intensity determined by using the method is adopted for inspecting an object to be inspected, so as to improve the inspection accuracy.
(FR)L'invention concerne un procédé et un appareil de détermination d'une intensité d'éclairage pour une inspection, et un procédé et un appareil d'inspection optique. Le procédé de détermination d'une intensité d'éclairage pour une inspection consiste à : obtenir des images d'un échantillon devant être inspecté et photographié par chacun d'au moins un composant d'imagerie selon une pluralité d'intensités d'éclairage (41) ; pour chaque composant d'imagerie, calculer la variation de l'échelle des gris de chacune des images obtenues selon la pluralité d'intensités d'éclairage (42) ; et déterminer, d'après la variation de l'échelle des gris, l'intensité d'éclairage pour l'inspection de chaque composant d'imagerie (43). L'intensité d'éclairage déterminée à l'aide du procédé selon l'invention est adoptée pour inspecter un objet devant être inspecté, de sorte à améliorer la précision d'inspection.
(ZH)一种确定用于检测的光照强度的方法和装置、及光学检测方法和装置。一种确定用于检测的光照强度的方法包括:获取至少一个成像元件中的每个成像元件在多个光照强度下对待检测样品拍摄的图像(41);对于每个成像元件,计算在多个光照强度下获取的图像中的每幅图像的灰度标准差(42);根据灰度标准差确定每个成像元件的用于检测的光照强度(43)。根据该方法确定的光照强度对待检测对象进行检测,能够提高检测的准确度。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)