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1. (WO2017200759) CONNECTOR FOR PROCESS CHAMBER ELECTROSTATIC ELEMENTS
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Pub. No.:    WO/2017/200759    International Application No.:    PCT/US2017/031072
Publication Date: 23.11.2017 International Filing Date: 04.05.2017
IPC:
H01J 37/30 (2006.01), H01J 37/317 (2006.01)
Applicants: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. [US/US]; 35 Dory Road Gloucester, Massachusetts 01930 (US)
Inventors: JAGTAP, Mayur; (US).
HERMANSON, Eric; (US).
PIXLEY, James Alan; (US)
Agent: ROY, Ronnen; (US)
Priority Data:
15/155,477 16.05.2016 US
Title (EN) CONNECTOR FOR PROCESS CHAMBER ELECTROSTATIC ELEMENTS
(FR) CONNECTEUR POUR ÉLÉMENTS ÉLECTROSTATIQUES DE CHAMBRE DE TRAITEMENT
Abstract: front page image
(EN)Provided herein are approaches for securing electrostatic elements within a lens component. In one approach, a connector includes a flexible coupling secured at a first end to an electrostatic element of a plurality of electrostatic elements, the plurality of electrostatic elements extending between a set of sidewalls of the lens component. The connector further includes a stub protruding from a feedthrough component provided through the set of sidewalls, the stub secured to the flexible coupling at a second end of the flexible coupling.
(FR)L'invention concerne des approches pour fixer des éléments électrostatiques à l'intérieur d'un élément d'objectif. Dans un mode de réalisation, un connecteur comprend un accouplement flexible fixé par une première extrémité à un élément électrostatique d'une pluralité d'éléments électrostatiques, la pluralité d'éléments électrostatiques s'étendant entre un jeu de parois latérales de l'élément d'objectif. Le connecteur comprend en outre une mentonnet faisant saillie d'un composant de traversée disposé à travers le jeu de parois latérales, le mentonnet étant fixé à l'accouplement flexible à une seconde extrémité de l'accouplement flexible.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)