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1. (WO2017200731) INTEGRATED PACKAGE CONTAINING MEMS ACOUSTIC SENSOR AND PRESSURE SENSOR
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Pub. No.:    WO/2017/200731    International Application No.:    PCT/US2017/029981
Publication Date: 23.11.2017 International Filing Date: 27.04.2017
IPC:
B81C 1/00 (2006.01)
Applicants: INVENSENSE, INC. [US/US]; 1745 Technology Drive, Suite 200 San Jose, California 95110 (US)
Inventors: GAO, Jia; (US).
KIM, Brian; (US).
HARTWELL, Peter George; (US).
MAGHSOUDNIA, Mozafar; (US)
Agent: JOSHI, Vinay V.; (US).
AMIN, Himanshu S.; (US)
Priority Data:
15/160,127 20.05.2016 US
Title (EN) INTEGRATED PACKAGE CONTAINING MEMS ACOUSTIC SENSOR AND PRESSURE SENSOR
(FR) BOÎTIER INTÉGRÉ CONTENANT UN CAPTEUR DE PRESSION ET UN CAPTEUR ACOUSTIQUE À MEMS
Abstract: front page image
(EN)Integrated microelectromechanical systems (MEMS) acoustic sensor devices are disclosed. Integrated MEMS acoustic sensor devices can comprise a MEMS acoustic sensor element and a pressure sensor within the back cavity associated with the MEMS acoustic sensor element. Integrated MEMS acoustic sensor devices can comprise a port adapted to receive acoustic waves or pressure. Methods of fabrication are also disclosed.
(FR)L'invention porte sur des dispositifs de capteurs acoustiques à systèmes microélectromécaniques (MEMS) intégrés. Les dispositifs de capteurs acoustiques à MEMS intégrés peuvent comprendre un élément capteur acoustique à MEMS et un capteur de pression dans la cavité arrière associée à l'élément capteur acoustique à MEMS. Des dispositifs de capteurs acoustiques à MEMS intégrés peuvent comprendre un port conçu pour recevoir des ondes acoustiques ou une pression. L'invention porte également sur des procédés de fabrication.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)