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1. (WO2017200226) DEVICE FOR MEASURING THREE-DIMENSIONAL SHAPE USING MULTI-WAVELENGTH OPTICAL SCANNING INTERFEROMETER
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Pub. No.: WO/2017/200226 International Application No.: PCT/KR2017/004578
Publication Date: 23.11.2017 International Filing Date: 28.04.2017
IPC:
G01N 21/88 (2006.01) ,H04N 5/335 (2011.01) ,G01B 11/14 (2006.01) ,G01B 11/16 (2006.01)
Applicants: MIRTEC CO., LTD[KR/KR]; SK Ventium 101-103, 166 Gosan-ro, GunPo-si Gyeonggi-do 15850, KR
Inventors: YUN, JongKuk; KR
Agent: INTERNATIONAL IP GROUP; #302, 97, 307bun-gil, Hyowon-ro, Paldal-gu Suwon-si Gyeonggi-do 16488, KR
Priority Data:
10-2016-006227720.05.2016KR
Title (EN) DEVICE FOR MEASURING THREE-DIMENSIONAL SHAPE USING MULTI-WAVELENGTH OPTICAL SCANNING INTERFEROMETER
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE FORME TRIDIMENSIONNELLE AU MOYEN D'UN INTERFÉROMÈTRE À BALAYAGE OPTIQUE MULTI-LONGUEURS D'ONDE
(KO) 다파장 광 주사 간섭계를 이용한 3차원 형상 측정장치
Abstract: front page image
(EN) The present invention relates to a device for measuring a three-dimensional shape using a multi-wavelength optical scanning interferometer, comprising: a light source for irradiating light of at least two or more different wavelength bands; a light separator for separating the light irradiated from the light source; a sample disposed at the lower end of the light separator and irradiated with light reflected from the light separator; a reference mirror unit disposed on a path of the light transmitted through the light separator, and providing the number of reference beams which corresponds to the number of wavelength bands of the beams; and a measurement unit for receiving a measurement beam reflected from the sample and the reference beams reflected from the reference mirror unit, and separating a received image according to wavelength band.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de mesure d’une forme tridimensionnelle au moyen d'un interféromètre à balayage optique multi-longueurs d'onde, comprenant : une source de lumière pour irradier une lumière d'au moins deux bandes de longueur d'onde différentes ; un séparateur de lumière pour séparer la lumière irradiée depuis la source de lumière ; un échantillon disposé à l'extrémité inférieure du séparateur de lumière et irradié avec la lumière réfléchie par le séparateur de lumière ; une unité de miroir de référence disposée sur un trajet de la lumière transmise à travers le séparateur de lumière, et fournissant le nombre de faisceaux de référence qui correspond au nombre de bandes de longueur d'onde des faisceaux ; et une unité de mesure pour recevoir un faisceau de mesure réfléchi par l'échantillon et les faisceaux de référence réfléchis par l'unité de miroir de référence, et séparer une image reçue suivant la bande de longueur d'onde.
(KO) 본 발명은 다파장 광 주사 간섭계를 이용한 3차원 형상 측정장치에 관한 것으로서, 적어도 2개 이상의 서로 다른 파장대역의 빛을 조사하는 광원, 상기 광원에서 조사된 빛을 분리하는 광 분리기, 상기 광 분리기의 하단에 배치되어 상기 광 분리기에서 반사된 빛이 조사되는 시료, 상기 광분리기에서 투과된 빛의 경로 상에 배치되고, 상기 광의 파장대역 개수에 상응하는 개수의 기준광을 제공하는 기준 거울부, 상기 시료에서 반사된 측정광과 상기 기준 거울부에서 반사된 기준광들을 수신하고, 수신된 이미지를 파장대역별로 분리하는 측정부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Korean (KO)
Filing Language: Korean (KO)