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1. (WO2017199705) PIEZOELECTRIC ELEMENT MANUFACTURING METHOD
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Pub. No.:    WO/2017/199705    International Application No.:    PCT/JP2017/016309
Publication Date: 23.11.2017 International Filing Date: 25.04.2017
IPC:
H01L 41/332 (2013.01), H01L 21/306 (2006.01), H01L 21/308 (2006.01), H01L 41/18 (2006.01), H01L 41/338 (2013.01)
Applicants: KONICA MINOLTA, INC. [JP/JP]; 2-7-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1007015 (JP)
Inventors: TADA, Kazunari; (--).
SHIMIZU, Naoki; (--)
Agent: WASHIDA, Kimihito; (JP)
Priority Data:
2016-100335 19.05.2016 JP
2017-009392 23.01.2017 JP
Title (EN) PIEZOELECTRIC ELEMENT MANUFACTURING METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ÉLÉMENT PIÉZOÉLECTRIQUE
(JA) 圧電素子の製造方法
Abstract: front page image
(EN)The present invention provides a piezoelectric element manufacturing method. The manufacturing method is a method of manufacturing a piezoelectric element comprising a piezoelectric body composite in which a piezoelectric body configured from a Pb-based piezoelectric material and a resin are alternately arranged, and comprises a step of etching, using an etching liquid, a plurality of parallel piezoelectric body segments formed by dicing. The etching liquid comprises a liquid which contains 0.1 to 20 mass % of hexafluorosilicic acid.
(FR)La présente invention concerne un procédé de fabrication d'élément piézoélectrique. Le procédé de fabrication est un procédé de fabrication d'un élément piézoélectrique comprenant un composite de corps piézoélectrique dans lequel un corps piézoélectrique constitué d'un matériau piézoélectrique à base de Pb et une résine sont agencés en alternance, et comprend une étape de gravure, à l'aide d'un liquide de gravure, d'une pluralité de segments de corps piézoélectrique parallèles formés par découpage en dés. Le liquide de gravure comprend un liquide qui contient de 0,1 à 20 % en masse d'acide hexafluorosilicique.
(JA)本発明は圧電素子の製造方法である。当該製造方法は、Pb系圧電材料で構成された圧電体と樹脂とが交互に配列されている圧電体コンポジットを含む圧電素子を製造する方法であり、ダイシングによって形成された並列する複数の圧電体切片をエッチング液でエッチングする工程を含む。上記エッチング液には、0.1~20質量%のヘキサフルオロケイ酸を含有する液を用いる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)