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1. (WO2017197305) ELECTROSTATIC CHUCKING OF COVER GLASS WITH IRREGULAR SURFACE FLATNESS
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Pub. No.:    WO/2017/197305    International Application No.:    PCT/US2017/032479
Publication Date: 16.11.2017 International Filing Date: 12.05.2017
IPC:
C23C 14/50 (2006.01), B23Q 3/15 (2006.01), C23C 16/458 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Applicants: CORNING INCORPORATED [US/US]; 1 Riverfront Plaza Corning, New York 14831 (US)
Inventors: BOUGHTON, Daniel Robert; (US).
FAGAN, James Gerard; (US).
KEEBLER, Thomas Augustus; (US)
Agent: SCHMIDT, Jeffrey A; (US)
Priority Data:
62/335,350 12.05.2016 US
Title (EN) ELECTROSTATIC CHUCKING OF COVER GLASS WITH IRREGULAR SURFACE FLATNESS
(FR) TOURNAGE ÉLECTROSTATIQUE DE LAMELLE DE COUVERTURE À PLANÉITÉ DE SURFACE IRRÉGULIÈRE
Abstract: front page image
(EN)An electrostatic chuck apparatus for chucking glass includes a substantially rigid chassis with a plurality of apertures extending from one side of the chassis to another side of the chassis. A plurality of electrostatic chuck pins extend through the openings and are resiliently mounted to the chassis such that the extent to which the electrostatic chuck pins extend through the chassis is individually variable. With this construction, the electrostatic chuck pins maintaining contact with the surface of the glass despite the presence of some variation in the localized surface flatness of the glass.
(FR)Un appareil de tournage électrostatique pour le tournage du verre comprend un châssis sensiblement rigide avec une pluralité d'ouvertures s'étendant d'un côté du châssis à un autre côté du châssis. Une pluralité de broches de tournage électrostatiques s'étend à travers les ouvertures et est montée de manière résiliente sur le châssis de telle sorte que l'étendue de l'extension des broches de mandrin électrostatique à travers le châssis soit variable individuellement. Avec cette structure, les broches de tournage électrostatiques maintiennent le contact avec la surface du verre malgré la présence de variations localisées de la planéité de surface du verre.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)