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1. (WO2017196702) PREDICTIVE DIAGNOSTICS SYSTEMS AND METHODS USING VACUUM PRESSURE CONTROL VALVES
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Pub. No.:    WO/2017/196702    International Application No.:    PCT/US2017/031498
Publication Date: 16.11.2017 International Filing Date: 08.05.2017
IPC:
F16K 37/00 (2006.01), F16K 51/02 (2006.01)
Applicants: MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 2 Tech Drive, Suite 201 Andover, Massachusetts 01810 (US)
Inventors: CHAMBERLAIN, David Brian; (US).
DAVIDKOVICH, Vladislav; (US).
BENEDICT, Scott; (US).
HILL, Gordon; (US)
Agent: MILLS, Steven M.; (US).
FOLEY, Shawn; (US).
CHOW, Stephen Y.; (US).
GOLDMAN, Gabriel; (US).
GOMES, David W.; (US).
HAMILTON, John A.; (US).
HASAN, Shahid; (US).
JOBSE, Bruce D.; (US).
LOPEZ, Orlando; (US).
MARAIA, Joseph M.; (US).
MOORE, Ronda P.; (US).
SCHEPPER, Marlo M.; (US).
SERIO, John C.; (US).
SUSAN, Janine M.; (US).
SORKIN, Paul; (US).
QUINN, Joseph P.; (US)
Priority Data:
62/333,989 10.05.2016 US
15/581,875 28.04.2017 US
Title (EN) PREDICTIVE DIAGNOSTICS SYSTEMS AND METHODS USING VACUUM PRESSURE CONTROL VALVES
(FR) SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE DIAGNOSTICS PRÉDICTIFS UTILISANT DES VANNES DE RÉGULATION DE PRESSION SOUS VIDE
Abstract: front page image
(EN)Calibration of a valve in a vacuum system and providing a diagnostic indication in the vacuum system using the calibration includes measuring conductance of the valve as a function of angular valve position and generating a conductance calibration map or function for use during operation of the valve. An actual angular valve position is set based on the received set point angular valve position and a difference between the measured valve conductance and a predefined metric of conductance versus angular valve position. An actual system conductance and a difference between the actual system conductance and a reference system conductance for the system are determined. The diagnostic indication of a fault in the system is generated based on the actual angular valve position of the valve and the difference between the actual system conductance and the reference system conductance for the system.
(FR)L'invention concerne l'étalonnage d'une vanne dans un système de vide et la fourniture d'une indication de diagnostic dans le système de vide en utilisant l'étalonnage, comprenant la mesure de la conductance de la vanne en fonction de la position angulaire de la vanne et la génération d'une cartographie ou fonction d'étalonnage de conductance destinée à être utilisée pendant le fonctionnement de la vanne. Une position angulaire réelle de vanne est définie sur la base de la position angulaire de vanne de consigne reçue et une différence entre la conductance de vanne mesurée et un indicateur de conductance prédéfini par rapport à la position angulaire de vanne. Une conductance réelle du système et une différence entre la conductance réelle du système et une conductance d'un système de référence pour le système sont déterminées. L'indication de diagnostic d'une anomalie dans le système est générée sur la base de la position angulaire réelle de vanne de la vanne et la différence entre la conductance réelle du système et la conductance d'un système de référence pour le système.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)