WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2017196678) SUPPLEMENTAL SENSOR MODES AND SYSTEMS FOR ULTRASONIC TRANSDUCERS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau    Submit observation

Pub. No.:    WO/2017/196678    International Application No.:    PCT/US2017/031421
Publication Date: 16.11.2017 International Filing Date: 05.05.2017
IPC:
B06B 1/02 (2006.01), B06B 1/06 (2006.01)
Applicants: INVENSENSE, INC. [US/US]; 1745 Technology Drive, Suite 200 San Jose, California 95110 (US)
Inventors: APTE, Nikhil; (US).
BERGER, Renata Melamud; (US).
DANEMAN, Michael; (US)
Agent: BLECHER, Matthew J.; (US)
Priority Data:
62/334,413 10.05.2016 US
15/419,835 30.01.2017 US
Title (EN) SUPPLEMENTAL SENSOR MODES AND SYSTEMS FOR ULTRASONIC TRANSDUCERS
(FR) MODES ET SYSTÈMES DE CAPTEURS SUPPLÉMENTAIRES POUR TRANSDUCTEURS ULTRASONORES
Abstract: front page image
(EN)A Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer (PMUT) device is provided. The PMUT includes a substrate and an edge support structure connected to the substrate. A membrane is connected to the edge support structure such that a cavity is defined between the membrane and the substrate, where the membrane configured to allow movement at ultrasonic frequencies. The membrane comprises a piezoelectric layer and first and second electrodes coupled to opposing sides of the piezoelectric layer. For operation in a Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer (CMUT) mode, a third electrode is disposed on the substrate and separated by an air gap in the cavity from the second electrode. Also provided are an integrated MEMS array, a method for operating an array of PMUT / CMUT dual-mode devices, and a PMUT / CMUT dual-mode device.
(FR)Dispositif à transducteur ultrasonore micro-usiné piézoélectrique (PMUT). Le PMUT comprend un substrat et une structure de support de bord reliée au substrat. Une membrane est reliée à la structure de support de bord de telle sorte qu'une cavité soit délimitée entre la membrane et le substrat, la membrane étant conçue pour permettre un mouvement à des fréquences ultrasonores. La membrane comprend une couche piézoélectrique et des première et seconde électrodes couplées aux côtés opposés de la couche piézoélectrique. Pour fonctionner dans un mode transducteur ultrasonore micro-usiné capacitif (CMUT), une troisième électrode est disposée sur le substrat et séparée par un entrefer dans la cavité vis-à-vis de la seconde électrode. L'invention porte également sur un réseau MEMS intégré, sur un procédé pour faire fonctionner un réseau de dispositifs à double mode PMUT/CMUT, et sur un dispositif à double mode PMUT/CMUT.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)