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1. (WO2017194838) A METHOD OF MAKING AN ARRAY OF SENSOR PIXELS, AND ASSOCIATED APPARATUS AND METHODS
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Pub. No.:    WO/2017/194838    International Application No.:    PCT/FI2017/050360
Publication Date: 16.11.2017 International Filing Date: 09.05.2017
IPC:
B82Y 10/00 (2011.01), B82Y 15/00 (2011.01), H01L 21/02 (2006.01), H01L 29/66 (2006.01), H01L 27/146 (2006.01), H01L 29/16 (2006.01)
Applicants: EMBERION OY [FI/FI]; Metsänneidonkuja 8 02130 Espoo (FI)
Inventors: BOWER, Chris; (GB).
WHITE, Richard; (GB).
LIU, Yinglin; (GB).
RUSHTON, Ashley; (GB)
Agent: BOCO IP OY AB; Itämerenkatu 5 00180 Helsinki (FI)
Priority Data:
16168895.7 10.05.2016 EP
Title (EN) A METHOD OF MAKING AN ARRAY OF SENSOR PIXELS, AND ASSOCIATED APPARATUS AND METHODS
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN RÉSEAU DE PIXELS DE CAPTEUR, ET APPAREIL ET PROCÉDÉS ASSOCIÉS
Abstract: front page image
(EN)A method of making an array of sensor pixels, the method comprising: forming an array of nucleation sites (415) on a growth substrate (411), each nucleation site (415) configured to facilitate the growth of a respective domain (416) of channel material on the growth substrate (411), the array of nucleation sites (415) having a predefined configuration corresponding to an arrangement of pixel regions (413) on a target substrate (412); growing an array of domains (416) of channel material on the growth substrate (411) from the array of respective nucleation sites (415) to form a layer of channel material (410); and transferring the layer of channel material (410) onto the target substrate (412) such that the domains (416) of channel material are substantially aligned with the pixel regions of the target substrate (412) to allow the formation of a pixel array, each pixel of the array comprising source and drain electrodes configured to enable a flow of electrical current through a respective domain of channel material, and a functionalising material on the domain of channel material configured to produce a detectable change in the flow of electrical current on exposure to a physical stimulus which is indicative of one or more of the presence and magnitude of the physical stimulus.
(FR)La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un réseau de pixels de capteur, le procédé consistant : à former un réseau de sites de nucléation sur un substrat de croissance, chaque site de nucléation étant conçu pour faciliter la croissance d'un domaine respectif de matériau de canal sur le substrat de croissance, le réseau de sites de nucléation ayant une configuration prédéfinie correspondant à un agencement de régions de pixels sur un substrat cible; à faire croître un réseau de domaines de matériau de canal sur ce substrat de croissance à partir du réseau de sites de nucléation respectifs pour former une couche de matériau de canal; et à transférer la couche de matériau de canal sur le substrat cible de telle sorte que les domaines de matériau de canal soient pratiquement alignés sur les régions de pixels du substrat cible pour permettre la formation d'un réseau de pixels, chaque pixel du réseau comprenant des électrodes source et déversoir prévues pour qu'un flux de courant électrique puisse traverser un domaine respectif de matériau de canal, et un matériau de fonctionnalisation sur le domaine de matériau de canal destiné à produire un changement détectable du flux de courant électrique lors d'une exposition à un stimulus physique, ce changement indiquant la présence et/ou l'amplitude du stimulus physique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)