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1. (WO2017194742) OPTICAL SCANNING MICROSCOPE AND EXAMINATION METHOD
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Pub. No.: WO/2017/194742 International Application No.: PCT/EP2017/061470
Publication Date: 16.11.2017 International Filing Date: 12.05.2017
IPC:
G02B 21/00 (2006.01)
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
21
Microscopes
Applicants:
LEICA MICROSYSTEMS CMS GMBH [DE/DE]; Ernst-Leitz-Str. 17-37 35578 Wetzlar, DE
Inventors:
SCHUMANN, Christian; DE
WEISS, Albrecht; DE
BAUER, Tobias; DE
GONSCHIOR, Cornell Peter; DE
Agent:
FROMMBERGER, Moritz; Kudlek & Grunert Patentanwälte 33 04 29 Postfach 33 04 29 80064 München, DE
Priority Data:
10 2016 108 987.713.05.2016DE
Title (EN) OPTICAL SCANNING MICROSCOPE AND EXAMINATION METHOD
(FR) MICROSCOPE À BALAYAGE OPTIQUE ET PROCÉDÉ D’EXAMEN
(DE) OPTISCHES RASTERMIKROSKOP UND UNTERSUCHUNGSVERFAHREN
Abstract:
(EN) The invention relates an optical scanning microscope (1, 2, 3), which comprises an illumination system (20) having a light source portion (100-103) emanating from a light source (100), a first polarization-dependent beam splitter (105a) and a second polarization-dependent beam splitter (105b) and a first optical channel (21) and a second optical channel (22) between the first beam splitter (105a) and the second beam splitter (105b), wherein the light source portion (100-103) is configured to emit a first illumination light beam (203) with light with a first main polarization direction and a second main polarization direction, the first beam splitter (105a) is configured to at least predominantly guide the light with the first main polarization direction into the first channel (21) and the light with the second main polarization direction into the second channel (22), the second beam splitter (105b) is configured form a second illumination light beam (24) from the light with the first main polarization direction from the first channel (21) and from light with the second main polarization direction from the second channel (22), and the channels (21, 22) are configured to emit the light with the first main polarization direction from the first channel (21) and the light with the second main polarization direction from the second channel (22) with different convergent angles. A corresponding method is likewise subject matter of the invention.
(FR) L'invention concerne un microscope à balayage optique (1, 2, 3), qui comporte : un système d’éclairage (20) pourvu d’un segment de source de lumière (100-103) provenant d’une source de lumière (100) ; un premier et un second séparateur de faisceau en fonction de la polarisation (105a, 105b) ; et un premier et un second canal optique (21, 22) entre le premier et le second séparateur de faisceau (105a, 105b). Le secteur de source de lumière (100–103) est conçu pour rayonner un premier faisceau de lumière d’éclairage (203) avec une lumière d’une première et d’une seconde direction principale de polarisation. Le premier séparateur de faisceau (105a) est conçu pour guider la lumière de la première direction principale de polarisation au moins principalement dans le premier canal (21) et la lumière de la seconde direction principale de polarisation au moins principalement dans le second canal (22). Le second séparateur de faisceau (105b) est conçu pour former un second faisceau de lumière d’éclairage (204) à partir de la lumière de la première direction principale de polarisation provenant du premier canal (21) et à partir de la lumière de la seconde direction principale de polarisation provenant du second canal (22). Les canaux (21, 22) sont conçus pour rayonner, selon des angles de convergence différents, la lumière de la première direction principale de polarisation (21) provenant du premier canal (21) et la lumière de la seconde direction principale de polarisation provenant du second canal (22). L'invention concerne un procédé correspondant.
(DE) Die Erfindung betrifft ein optisches Rastermikroskop (1, 2, 3), das ein Beleuchtungssystem (20) mit einem von einer Lichtquelle (100) ausgehenden Lichtquellenabschnitt (100–103), einem ersten und einem zweiten polarisationsabhängigen Strahlteiler (105a, 105b) und einem ersten und einem zweiten optischen Kanal (21, 22) zwischen dem ersten und dem zweiten Strahlteiler (105a, 105b) umfasst, wobei der Lichtquellenabschnitt (100–103) dazu eingerichtet ist, einen ersten Beleuchtungslichtstrahl (203) mit Licht einer ersten und einer zweiten Hauptpolarisationsrichtung abzustrahlen, der erste Strahlteiler (105a) dazu eingerichtet ist, das Licht der ersten Hauptpolarisationsrichtung zumindest überwiegend in den ersten (21) und das Licht der zweiten Hauptpolarisationsrichtung zumindest überwiegend in den zweiten Kanal (22) zu führen, der zweite Strahlteiler (105b) dazu eingerichtet ist, aus Licht der ersten Hauptpolarisationsrichtung aus dem ersten (21) und aus Licht der zweiten Hauptpolarisationsrichtung aus dem zweiten Kanal (22) einen zweiten Beleuchtungslichtstrahl (204) zu bilden, und die Kanäle (21, 22) dazu eingerichtet sind, das Licht der ersten Hauptpolarisationsrichtung aus dem ersten (21) und das Licht der zweiten Hauptpolarisationsrichtung aus dem zweiten Kanal (22) mit unterschiedlichen Konvergenzwinkeln auszustrahlen. Ein entsprechendes Verfahren ist ebenfalls Gegenstand der Erfindung.
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Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)