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1. (WO2017194333) APPARATUS AND METHOD FOR DETECTING IONS
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Pub. No.:    WO/2017/194333    International Application No.:    PCT/EP2017/060204
Publication Date: 16.11.2017 International Filing Date: 28.04.2017
IPC:
H01J 49/38 (2006.01), H01J 49/02 (2006.01), H01J 49/42 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE)
Inventors: ALIMAN, Michel; (DE).
BUTZMANN, Stefan; (DE).
BROCKHAUS, Albrecht; (DE).
SCHMIDT, Michael; (DE).
CHUNG, Hin Yiu Anthony; (DE).
LAUE, Alexander; (DE)
Agent: KOHLER SCHMID MÖBUS PATENTANWÄLTE PARTNERSCHAFTSGESELLSCHAFT MBB; Gropiusplatz 10 70563 Stuttgart (DE)
Priority Data:
10 2016 208 009.1 10.05.2016 DE
Title (EN) APPARATUS AND METHOD FOR DETECTING IONS
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION D'IONS
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to an apparatus (1) for detecting ions (4a, 4b), comprising: an ion trap (2) having a first electrode, preferably a ring electrode (3) and also having at least one second electrode, preferably a cap electrode (7a, 7b), a storage signal generator (5) for generating an RF storage signal (URF), which can be coupled into the first electrode (3) in order to generate an electric storage field (E) in the ion trap (2), and also an excitation device (6a, 6b) for generating an excitation signal (Ustim1, Ustim2) for exciting ions (4a, 4b) stored in the ion trap (2). The storage signal generator (5) is designed to set an amplitude (ARF) and/or a frequency (fRF) of the RF storage signal (URF). The invention also relates to an associated method for mass-selective detection of ions (4a, 4b). Furthermore, a suitable ionization method with constant or targeted ionization energies is presented.
(FR)L'invention concerne un appareil (1) destiné à détecter des ions (4a, 4b), comprenant : un piège à ions (2) comprenant une première électrode, de préférence une électrode annulaire (3), et comprenant également au moins une seconde électrode, de préférence une électrode chapeau (7a, 7b), un générateur de signal de stockage (5) pour générer un signal de stockage radiofréquence (RF) (URF), qui peut être couplé à la première électrode (3) afin de générer un champ électrique de stockage (E) dans le piège à ions (2), ainsi qu'un dispositif d'excitation (6a, 6b) pour générer un signal d'excitation (Ustmi1, Ustim2) destiné à exciter des ions (4a, 4b) stockés dans le piège à ions (2). Le générateur de signal de stockage (5) est conçu pour régler une amplitude (ARF) et/ou une fréquence (fRF) du signal de stockage RF (URF). L'invention concerne également un procédé associé permettant une détection d'ions (4a, 4b) sélective de masse. L'invention concerne en outre un procédé d'ionisation approprié à énergies d'ionisation constantes ou ciblées.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)