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1. (WO2017194247) EXTRACTION BODY FOR LITHOGRAPHIC APPARATUS
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Pub. No.: WO/2017/194247 International Application No.: PCT/EP2017/058076
Publication Date: 16.11.2017 International Filing Date: 05.04.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSICS
03
PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
F
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
7
Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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Exposure; Apparatus therefor
Applicants:
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventors:
KRAMER, Gijs; NL
HOUBEN, Martijn; NL
WATERSON, Nicholas, Peter; NL
LAURENT, Thibault, Simon, Mathieu; NL
VAN DE VIJVER, Yuri, Johannes, Gabriël; NL
VERMEULEN, Marcus, Martinus, Petrus, Adrianus; NL
RAVENSBERGEN, Simon, Karel; NL
CLOOSTERMAN, Vincentius, Fransiscus; NL
TROMP, Siegfried, Alexander; NL
BALTIS, Coen, Hubertus, Matheus; NL
GERRITZEN, Justin, Johannes, Hermanus; NL
ROSET, Niek, Jacobus, Johannes; NL
Agent:
DUNG, S.; NL
Priority Data:
16169457.512.05.2016EP
Title (EN) EXTRACTION BODY FOR LITHOGRAPHIC APPARATUS
(FR) CORPS D'EXTRACTION POUR APPAREIL LITHOGRAPHIQUE
Abstract:
(EN) An extraction body (67) is for a support apparatus (WT) of a lithographic apparatus. The support apparatus is configured to support an object (W). The extraction body is formed with an opening (91) at a surface (69) thereof. The opening extends within the extraction body forming a first passageway (90). The first passageway is configured to fluidly communicate an extraction channel (92) in the extraction body to liquid between the surface and the object. A first pressure in the extraction channel is less than ambient pressure. At least a part of the first passageway is sized and dimensioned such that when the liquid enters the first passageway via the opening, a second pressure in the first passageway associated with surface tension of the liquid is lower than the first pressure such that at least a portion of the liquid is retained in the first passageway.
(FR) L'invention concerne un corps (67) d'extraction destiné à un appareil de soutien (WT) d'un appareil lithographique. L'appareil de soutien est configuré pour soutenir un objet (W). Le corps d'extraction est formé avec une ouverture (91) à une surface (69) de celui-ci. L'ouverture s'étend à l'intérieur du corps d'extraction, formant un premier passage (90). Le premier passage est configuré pour faire communiquer fluidiquement un canal (92) d'extraction dans le corps d'extraction avec un liquide présent entre la surface et l'objet. Une première pression dans le canal d'extraction est inférieure à la pression ambiante. Au moins une partie du premier passage est dimensionnée de telle façon que, lorsque le liquide entre dans le premier passage via l'ouverture, une deuxième pression dans le premier passage associée à la tension superficielle du liquide est inférieure à la première pression de telle façon qu'au moins une partie du liquide soit retenue dans le premier passage.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)